特表2020-505794(P2020-505794A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2020-505794真空チャンバ内で撮像するための装置、基板の真空処理のためのシステム、及び真空チャンバ内で少なくとも１つの物体を撮像するための方法
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