発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

マクロ検査装置では、検出器の受光強度（輝度値）とＣＤ値とを対応付けして、検査を行っている。例えば、非特許文献１の図１では、パターン幅が広くなるにつれて、輝度値が高くなっている。換言すると、輝度分布が、ＣＤ分布に対応することになり、輝度分布から、ＣＤ検査を行うことが可能になる。 このような検査装置において、輝度は、パターンの表面形状や高さによって変化する。例えば、パターンのＣＤや厚さによって、輝度が変化する。さらに、輝度は、試料の表面パターンの下地の影響を受ける。例えば、パターンの下に下地膜が設けられている場合、下地膜の厚さ（高さ）によっても、輝度が変化する。例えば、下地膜の膜厚にばらつきがあると、パターンのＣＤ、及び高さが一定であったとしても、輝度が変化してしまう。また、光学系のシェーディング等による輝度値の変化も含まれる。 このように、パターンの線幅、及び高さだけでなく、下地の高さによっても輝度が変化する。したがって、ＣＤやパターン高さ等の検査対象となる値を輝度値に正確に対応付けることが困難となる。すなわち、輝度値には、ＣＤ、パターン高さ、下地高さの情報が含まれるため、これらを分離することが困難である。さらに、下地高さは、測長ＳＥＭ等を用いて測定することが困難である。また、下地の高さに限らず、実際の測定が困難な項目もある。よって、下地の高さやその他の項目にばらつきがある試料では、正確に検査を行うことが困難であるという問題点がある。 本発明は、このような事情を背景としてなされたものであり、より正確に検査を行うことができる検査装置、及び検査方法を提供することを目的とするものである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、より正確に検査することができる検査装置、及び検査方法を提供することができる。