【図1】Ｏ_２ガスの吸収スペクトラム特性図である。

【図2】一般的な酸素ガス温度別吸収スペクトラム例の説明図である。

【図3】燃焼制御用の酸素ガス温度別吸収スペクトラム例の説明図である。

【図4】本発明の第１の実施の形態のレーザ式酸素ガス分析計の構成図である。

【図5】レーザ光源部の構成図である。

【図6】レーザ素子の波長走査駆動信号発生部の出力波形を示す図である。

【図7】本発明の第１の実施の形態の動作を説明するための、レーザ素子の走査波形、Ｏ_２ガスの吸収波形および同期検波部の出力波形を示す図である。

【図8】受光素子および信号処理部の構成図である。

【図9】波長変調方式の原理図である。

【図10】ドライブ電流による半導体レーザの発光波長の変化を示す図である。

【図11】温度による半導体レーザの発光波長の変化を示す図である。

【図12】本発明の第２の実施の形態の動作を説明するための、レーザ素子の走査波形、Ｏ_２ガスの吸収波形および同期検波部の出力波形を示す図である。

【図13】本発明の第２の実施の形態の動作を説明するための、レーザ素子の走査波形、Ｏ_２ガスの吸収波形および同期検波部の出力波形を示す図である。

【図14】本発明の第３の実施の形態の動作を説明するための、レーザ素子の走査波形、Ｏ_２ガスの吸収波形および同期検波部の出力波形を示す図である。

【図15】本発明の第３の実施の形態の動作を説明するための、レーザ素子の走査波形、Ｏ_２ガスの吸収波形および同期検波部の出力波形を示す図である。

【図16】本発明の第４の実施の形態のレーザ式酸素ガス分析計の構成図である。

【図17】レーザ光源部の構成図である。

【図18】受光素子および信号処理部の構成図である。

【図19】レーザ素子の波長走査駆動信号発生部の出力波形および信号処理部に送られるトリガ信号の説明図である。

【図20】Ｉ／Ｖ変換部及び同期検波部の出力信号を示す図である。

【図21】Ｉ／Ｖ変換部及び同期検波部の出力信号を示す図である。

【図22】同期検波部の出力信号を示す図である。

【図23】Ｏ_２ガスの吸収スペクトラム特性図である。

【図24】パージガスの流れを説明する説明図である。