技術分野
レーザ照射装置及び表面処理方法に関し、特に液体中の照射対象物に対してレーザを照射して表面処理を行う際の処理能力を向上したもの
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】液体中の照射対象物に対してレーザを照射して表面処理を行う際の処理能力を向上したレーザ照射装置等を提供する。 【解決手段】レーザ光を収束させて液体中の照射対象物に照射する照射用光学系を備えるレーザ照射装置を、照射用光学系は、照射対象物に隣接して配置された最対物側光学素子323における照射対象物側の面部が液体中に配置された状態でレーザ光の照射を行うとともに、最対物側光学素子の照射対象物側とは反対の面部及び他の光学素子は、液体の浸入が実質的に防止されたハウジング内に収容され、最対物側光学素子の外周縁部近傍に設けられ照射対象物側の面部にほぼ沿って液体流を吐出する液体吐出手段440と、最対物側光学素子の外周縁部近傍において液体吐出手段に対して対物側光学素子の中央部を挟んだ反対側に設けられ対物側光学素子の照射対象物側の面部にほぼ沿って流れる液体流を吸入する液体吸入手段450とを備える構成とする。 【選択図】図10
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかし、特許文献1に記載された技術においては、レーザビームが通過する筒状の部材内が水で満たされており、レーザビームが比較的長距離にわたって水中を伝搬することとなり、エネルギの損失が大きくなってしまう。
また、異物が水中に流出して、集光レンズと照射対象物との間の水中に漂った場合、水中を浮遊する異物によってもレーザビームの照射対象物への到達が妨げられ、エネルギ到達率(出射したエネルギのうち照射対象物に到達する割合)が低下してしまう。
上述した問題に鑑み、本発明の課題は、液体中の照射対象物に対してレーザを照射して表面処理を行う際の処理能力を向上したレーザ照射装置及び表面処理方法を提供することである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、以下のような解決手段により、上述した課題を解決する。
請求項1に係る発明は、レーザ発振器が発するレーザ光を収束させて液体中に配置された照射対象物に照射する照射用光学系を備えるレーザ照射装置であって、前記照射用光学系は、前記照射対象物に隣接して配置された最対物側光学素子における前記照射対象物側の面部が前記液体中に配置された状態でレーザ光の照射を行うとともに、前記最対物側光学素子の・・・ 続きを
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【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、液体中の照射対象物に対してレーザを照射して表面処理を行う際の処理能力を向上したレーザ照射装置及び表面処理方法を提供することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 本発明を適用したレーザ照射装置の実施例におけるヘッドの外観図である。
【図2】 実施例のレーザ照射装置におけるヘッドの断面図である。
【図3】 実施例のレーザ照射装置におけるレーザ照射ユニットの構成を模式的に示す図である。
【図4】 実施例のレーザ照射装置におけるビームの挙動を示す模式図である。
【図5】 実施例のレーザ照射装置のヘッドの部分断面斜視図である。
【図6】 実施例のレーザ照射装置のヘッドの照射対象物側の端部近傍における部分断面斜視図である。
【図7】 実施例のレーザ照射装置のヘッドにおける筒状ハウジングの四面図である。
【図8】 実施例のレーザ照射装置のヘッドにおけるキャップの四面図である。
【図9】 実施例のレーザ照射装置のヘッドにおけるキャップの透視斜視図である。
【図10】 実施例のレーザ照射装置における使用時の液体流の挙動を模式的に示す図である。
O 照射対象物(処理対象物) 10 ヘッド
F ファイバ
100 レーザ照射ユニット 110 ファイバ接続部
120 集光光学系 130 偏向光学系
131 駆動用動力源
B ビーム FP 焦点
200 照射ユニットハウジング 210 ブラケット
300 筒状ハウジング 310 本体部
311 吐出流路 312 吸入流路
313 吐出側ポンプ接続部 314 吸入側ポンプ接続部
315 ハウジング接続部 316 ブラケット
320 先端部 321 開口
322 凹部 323 保護ガラス
324 溝部 325 Oリング
400 キャップ 410 外周面部
420 端面部 430 曲面部
440 吐出流路 450 吸入流路
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