【図1】第一のプロセス監視システムの一例のシステム構成図である。

【図2】第一のプロセス監視装置の一例のハードウェア構成図である。

【図3】第一のプロセス監視システムの一例の機能構成図である。

【図4】バッチデータの一例を説明するための図である。

【図5】第一のモデル作成処理の一例のフローチャートである。

【図6】データの変換処理の一例を説明するための図である。

【図7】第一の異常検知処理の一例のフローチャートである。

【図8】オンラインにおけるＱ統計量及びＴ^２統計量の推移を示すグラフの一例のイメージ図である。

【図9】第二のプロセス監視システムの一例の機能構成図である。

【図10】第二の異常検知処理の一例のフローチャートである。

【図11】Ｑ統計量の１バッチ分の積算及びＴ^２統計量の１バッチ分の積算を示す一例のイメージ図である。

【図12】第三のプロセス監視システムの一例の機能構成図である。

【図13】第三のモデル作成処理の一例のフローチャートである。

【図14】第１の中間系列の一例を説明するための図である。

【図15】第三の異常検知処理の一例のフローチャートである。