【図1】第１の光走査装置の構成を示す図である。

【図2】第１の回転型アクチュエータの構成の一例の詳細を示す平面図である。

【図3】基板（可動電極）の第１面の構成の第１例の詳細を示す断面図である。

【図4】基板（可動電極）の第１面の構成の第２例の詳細を示す断面図である。

【図5】基板（可動電極）の第１面の構成の第３例の詳細を示す断面図である。

【図6】複数の反射領域のパターンの第１例を示す平面図である。

【図7】複数の反射領域のパターンの第２例を示す平面図である。

【図8】複数の反射領域のパターンの第３例を示す平面図である。

【図9】複数の反射領域のパターンの第４例を示す平面図である。

【図10】複数の反射領域のパターンの第５例を示す平面図である。

【図11】第２の光走査装置の構成を示す図である。

【図12】第３の光走査装置の構成を示す図である。

【図13】第４の光走査装置の構成を示す図である。

【図14】図１３に示した基板の変形例を示す斜視図である。

【図15】第１内側面及び第２内側面それぞれの傾斜を示す断面図である。

【図16】第５の光走査装置の構成を示す図である。

【図17】（ａ）は、図１６に示した反射領域の表面の第１例を示す断面図であり、（ｂ）は、図１６に示した反射領域の表面の第２例を示す断面図である。

【図18】第６の投影装置の構成を示す図である。

【図19】第７の検査装置の構成を示す図である。