特開2016-201397IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

固体撮像素子および電子機器に関し、特に、画素に入射する光の入射角に応じた受光量の非対称性を解消することができるようにした固体撮像素子および電子機器

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】画素に入射する光の入射角に応じた受光量の非対称性を解消する。
【解決手段】固体撮像素子は、半導体基板の裏面側から入射する光を受光する受光部を有する画素と、半導体基板の表面に積層される配線層とを備える。そして、画素は、平面視したときに、画素の中心に対して対称的な形状に形成される対称配線を有し、その対称配線は、配線層に形成される複数層の配線のうち、受光部の最も近くの層に配置される。本技術は、例えば、裏面照射型の固体撮像素子に適用できる。
【選択図】図2

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところで、近年、画素から画素信号を読み出す速度の高速化に伴い、信号線や制御線が増加する傾向があり、上述の特許文献1のように、画素の下方に配線が配置されないような配線レイアウトを採用することは困難になっている。また、このような配線レイアウトは設計自由度が低いため、より設計自由度が高く、かつ、画素の受光量が光の入射角に対して一定となるようにすることが求められている。 このような状況に鑑みてなされたものであり、画素に入射する光の入射角に応じた受光量の非対称性を解消することができるようにするものである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の一側面の固体撮像素子は、半導体基板の裏面側から入射する光を受光する受光部を有する画素と、前記半導体基板の表面に積層される配線層とを備え、前記画素は、前記画素を平面視したときに、前記画素の中心に対して対称的な形状に形成される対称配線を有する。
【発明の効果】
本開示の一側面によれば、画素に入射する光の入射角に応じた受光量の非対称性を解消することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本技術を適用した撮像素子の一実施の形態の構成例を示すブロック図である。

【図2】画素の構成例を示す図である。

【図3】シェーディング形状の改善を示す図である。

【図4】配線の間隔と光の混入との関係を示す図である。

【図5】遮光配線について説明する図である。

【図6】対称配線と遮光配線との距離が満たす第1の条件について説明する図である。

【図7】対称配線と遮光配線との距離が満たす第2の条件について説明する図である。

【図8】遮光配線の幅が満たす条件について説明する図である。

【図9】瞳補正について説明する図である。

【図10】瞳補正について説明する図である。

【図11】画素の第1の変形例を示す図である。

【図12】画素の第2の変形例を示す図である。

【図13】画素の第3の変形例を示す図である。

【図14】電子機器に搭載される撮像装置の構成例を示すブロック図である。

【図15】イメージセンサを使用する使用例を示す図である。

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

11 撮像素子, 12 画素領域, 13 垂直駆動回路, 14 カラム信号処理回路, 15 水平駆動回路, 16 出力回路, 17 制御回路, 21 画素, 22 水平信号線, 23 垂直信号線, 24 データ出力信号線, 31 配線層, 32Rおよび32G 受光部, 33R 赤色フィルタ, 33G 緑色フィルタ, 41乃至44 配線

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