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特開 2016-216313出願番号 特願 2015-104184
油分除去装置及びそれを用いたアンモニアの精製装置
出願人 日本パイオニクス株式会社（識別番号 229601）
2026年 特許公開件数ランキング 5848位 2件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 21872位 0件（※）
公報発行日 2016年12月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-216313 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】 工業用として市販されている安価な粗アンモニア、及び窒化ガリウム系化合物半導体の製造工程から回収される粗アンモニアから、気相成長に悪影響を及ぼす原因となる油分等の不純物を除去し、連続して窒化ガリウム系化合物半導体プロセスに供給することが可能なアンモニアの精製手段を提供する。【解決手段】 不純物として油分を含む粗アンモニアから、油分を除去する油分除去装置であって、プリーツ状、ハニカム状、または立体構造状に加工されたろ過膜を円筒状に成形してなるろ過素子が収納された油分フィルター筒、及び活性炭が充填された油分吸着筒からなる油分除去装置とする。さらに、前記の油分除去装置のほか、ニッケルを有効成分とする触媒が充填された触媒筒、及び合成ゼオライトが充填された吸着筒を備えたアンモニア精製装置とする。
【選択図】 図１１
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】本発明に使用する油分フィルター筒の構成の一例を示す斜視図
【図2】本発明に使用する油分フィルター筒の垂直断面の一例を示す構成図
【図3】本発明に使用する油分フィルター筒の水平断面の一例を示す構成図
【図4】本発明に使用する図３以外の油分フィルター筒の水平断面の一例を示す構成図
【図5】本発明に使用する図３、図４以外の油分フィルター筒の水平断面の一例を示す構成図
【図6】本発明に使用する図３〜図５以外の油分フィルター筒の水平断面の一例を示す構成図
【図7】本発明の油分除去装置の一例を示す構成図
【図8】本発明の油分除去装置の垂直断面の一例を示す構成図
【図9】本発明の油分除去装置の水平断面の一例を示す構成図
【図10】本発明の図９以外の油分除去装置の水平断面の一例を示す構成図
【図11】本発明のアンモニアの精製装置の一例を示す構成図
【図12】本発明の図１１以外のアンモニアの精製装置の一例を示す構成図
【図13】本発明に使用する油分の分析器の構成図
【図14】油分の分析器を用いた場合の本発明のアンモニアの精製装置の一例を示す構成図
選択図 図11出願人が指定した本件の代表的な図
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