【図1】本実施の形態における磁気センサの積層構造を示す断面図である。

【図2】図１における磁気抵抗素子アレイのパターンを示す平面図である。

【図3】図２の磁気抵抗素子アレイの等価回路図である。

【図4】本実施の形態における磁気センサの平面図である。

【図5】磁気抵抗素子アレイに対する磁界の角度と、磁気センサの出力電圧を説明するための第１の図である。

【図6】磁気抵抗素子アレイに対する磁界の角度と、磁気センサの出力電圧を説明するための第２の図である。

【図7】磁気センサに印加される磁界強度と出力電圧との関係を説明するための図である。

【図8】距離検出を行なう場合の原理を説明するための図である。

【図9】角度検出を行なう場合の原理を説明するための図である。

【図10】角度検出における、磁界の角度と磁気センサの出力電圧との関係を説明するための図である。

【図11】θ＝４５°の場合の、磁界の最大振幅と線形性との関係を示す図である。

【図12】変形例の磁気抵抗素子アレイのパターンを示す平面図である。

【図13】２つの磁気抵抗素子からなる磁気センサの気抵抗素子アレイのパターンを示す平面図である。