特開2016-223982IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

屈折率分布の計測方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】 被検物の屈折率分布を非破壊かつ高精度に計測する。
【解決手段】 被検物60を媒質70中に配置し、被検物60の透過波面を複数の波長において計測し、複数の波長において計測された被検物60の透過波面と、特定の群屈折率分布を有する基準被検物が媒質70中に配置されているときの複数の波長における透過波面から、被検物60の透過波面と基準被検物の透過波面との差分である波面収差の波長に関する変化率を算出し、波面収差の波長に関する変化率に基づいて、被検物60の屈折率分布を算出する。
【選択図】 図2

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献1に開示された方法では、高い位相屈折率のマッチングオイルは透過率が低いため、高い位相屈折率を有する被検物の透過波面計測は小さな信号しか得られず、計測精度が低くなる。 特許文献2で開示された方法は、基準被検物の位相屈折率が既知であることを前提としている。基準被検物の位相屈折率は、被検物内部の1点(例えばレンズの中心)の位相屈折率と一致している必要がある。そのため、特許文献2に開示された屈折率分布の計測方法には、被検物内部の1点の位相屈折率を非破壊で計測する技術が必要である。しかし、位相屈折率を非破壊で計測することは難しい。低コヒーレンス干渉法や波長走査干渉法は、非破壊で屈折率を計測できるが、計測される屈折率は、位相屈折率ではなく群屈折率である。また、群屈折率から変換された位相屈折率は変換誤差を含む。 本発明は、被検物の屈折率分布を非破壊かつ高精度に計測することができる屈折率分布の計測方法および計測装置、光学素子の製造方法を提供することを例示的な目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の計測方法は、被検物を媒質中に配置し、前記被検物に光を入射させて該被検物の透過波面を複数の波長において計測する計測ステップと、前記複数の波長において計測された前記被検物の透過波面と、特定の群屈折率分布を有する基準被検物が前記媒質中に配置されているときの前記複数の波長における透過波面から、前記被検物の透過波面と前記基準被検物の透過波面との差分である波面収差の波長に関する変化率を算出し、前・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、被検物の屈折率分布を非破壊かつ高精度に計測することができる計測方法および計測装置、光学素子の製造方法を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】計測装置のブロック図(実施例1)

【図2】屈折率分布の算出手順を示すフローチャート(実施例1)

【図3】被検物上に定義された座標系と計測装置内での光線の光路を示す図(実施例1)

【図4】計測装置のブロック図(実施例2)

【図5】光学素子の製造工程の説明図

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

10 光源   60 被検物   70 媒質   80 波面センサ(計測手段)   90 コンピュータ(算出手段)

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