発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許文献１に記載された静電チャックにおいては、長期信頼性を確保したまま電極を薄くすることが困難であった。具体的には、電極全体を薄くした場合には電極自体の耐久性が低下してしまい、ビアホール導体と電極との接続部においてクラックが生じてしまうおそれがあった。そのため、ビアホール導体と電極との接続の信頼性が低下してしまうおそれがあった。 本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、接続の信頼性を確保しつつセラミック体に生じる反りを低減することができる試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置を提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様の試料保持具によれば、接続の信頼性を確保しつつセラミック体に生じ
る反りを低減することができる。 本発明の一態様のプラズマエッチング装置によれば、の試料保持具を含むことによって、長期信頼性を向上させることができる。