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公報発行日 2016年12月28
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【図1】本発明の実施形態の製造方法により製造される電歪素子を示す平面図。
【図2】図1のII−II線における断面図。
【図3】Aは誘電膜を伸張状態に保持する工程を示す図、Bは誘電膜にスクリーン印刷する工程を示す図、Cは片面にスクリーン印刷された誘電膜を示す図。
【図4】Aは第1治具の平面図、BはAのB−B線における断面図。
【図5】Aは片面にスクリーン印刷された誘電膜を示す図、Bは誘電膜にスクリーン印刷する工程を示す図、Cは両面にスクリーン印刷された誘電膜を示す図。
【図6】Aは誘電膜を伸張状態に保持する工程を示す図、Bは誘電膜にスクリーン印刷する工程を示す図、Cは両面にスクリーン印刷された誘電膜を示す図。
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