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公報発行日 2018年3月1
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【図1】実施例のアセトンセンサの断面図
【図2】実施例のガス検出装置のブロック図
【図3】室温と200℃との間で温度変調した際の、ヒータ電圧とガス感応部の抵抗値の波形図:(i)は乾燥雰囲気での波形を、(ii)は湿潤雰囲気(30℃、相対湿度50%)での波形を示す。
【図4】200℃にガス感応部の温度を固定した際の、水素とアセトンへの応答を示す波形図で、(i)は乾燥雰囲気(30℃、相対湿度約0%)での応答を、(ii)は湿潤雰囲気(30℃、相対湿度50%)での応答を示す。
【図5】湿潤雰囲気下の温度変調での、最高温度とアセトンへの応答値を示す波形図
【図6】湿潤雰囲気下の温度変調での、最高温度と水素への応答値を示す波形図
【図7】温度変調での、乾燥雰囲気と湿潤雰囲気での、水素に対するアセトンへの選択性を示す特性図
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