発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところで、前記特許文献１に記載されているように、除振台によって可動式のステージを支持した場合、除振台とステージとの間の振動や、ステージと搭載物との間の振動等が共振に至る可能性がある。そういった共振は、それが実際に生じる前に未然に抑制することが求められる。 また一般に、前記特許文献１に記載されているような可動式のステージにおいては、そのステージに生じる振動を抑えるべく、除振台に対するフィードフォワード制御とは別に、ステージ自身に対してフィードフォワード制御（いわゆるステージＦＦ制御）を行うことも知られている。 そこで、ステージＦＦ制御を成す制御ループ中に、ステージに関連した共振を誘発するような周波数成分（本明細書では、そうした周波数成分を「共振周波数成分」と呼称する）を除去するための、ノッチフィルタ等のディジタルフィルタを介設することが考えられる。この場合、例えばステージに関連したフィードフォワード信号から共振周波数成分を除去することで、共振の発生を未然に抑制できるものと考えられる。 しかし一般に、ディジタルフィルタを透過させたディジタル信号には、位相の遅れが生じてしまう。このことは、ステージＦＦ制御に時間的な遅れを招くことになるため、ステージの応答性等を確保する上で不都合である。 また、単にノッチフィルタを透過させるだけでは、共振周波数成分を取り除いた分だけ、ディジタル信号のゲインが不足する可能性もある。このことは、前述のステージＦＦ制御等、ステージの移動制御の性能（特に、ステージに付与する推力・加速度の確保）という観点からは不都合である。これに対し、仮に、ディジタル信号のゲインを補うための信号処理を追加してしまうと、位相の遅れが一層顕著なものとなるため望ましくない。 ここに開示する技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、可動式のステージを備えたアクティブ除振装置において、時間的な遅れを招くことなく、ステージに関連した共振の発生を抑制することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

以上説明したように、前記のアクティブ除振装置によると、可動式のステージを備えたアクティブ除振装置において、時間的な遅れを招くことなく、ステージに関連した共振の発生を抑制することができる。