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特開 2019-179829出願番号 特願 2018-67862
エッチング液組成物
出願人 ナガセケムテックス株式会社（識別番号 214250）
2026年 特許公開件数ランキング 1776位 9件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 3610位 3件（※）
公報発行日 2019年10月17
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-179829 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
エッチング液組成物
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】本発明は、銅などの金属配線層は損傷せずチタン層のみを除去し、さらに、絶縁膜上にチタン層および銅などの金属の配線がこの順で配置された積層体において、不要なチタン層は除去しながら銅などの金属の配線の下へのサイドエッチングは抑制できるエッチング組成物を提供する。【解決手段】（Ａ）フッ化水素酸および／またはその塩、（Ｂ）有機酸および／または無機酸、ならびに（Ｃ）ピラジンおよび／またはその誘導体を含有するエッチング液組成物。
【選択図】なし
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、銅などの金属配線は損傷せず、チタン層のみを除去するエッチング組成物を提供する。さらに、絶縁膜上にチタン層が積層され、該チタン層上に銅などの金属配線が配置された積層体において、不要なチタン層を除去しながら銅などの金属配線の下へのサイドエッチングを抑制できるエッチング組成物を提供する。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者は、鋭意検討の結果、（Ａ）フッ化水素酸および／またはその塩、（Ｂ）有機酸および／または無機酸、ならびに（Ｃ）ピラジンおよび／またはその誘導体を含有するエッチング液組成物が、銅などの金属配線層を損傷せず、チタン層のみを除去でき、さらにチタン層のサイドエッチングを抑制できることを見出し、本発明を完成した。
【発明の効果】
本発明のエッチング液組成物は、ピラジンおよび／またはその誘導体を含有するため、銅などの金属配線層は損傷せず、チタン層のみを除去でき、さらにチタン層のサイドエッチングを抑制できる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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