技術分野
半導体装置
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】半導体装置において、逆回復時の発熱を抑制する。 【解決手段】半導体基板と、半導体基板の上面に接して設けられた第2導電型のウェル領域と、半導体基板に設けられ、半導体基板の上面視でウェル領域に挟まれて設けられ、半導体基板の上面および下面の間で電流が流れる活性領域と、活性領域に設けられたトランジスタ部と、活性領域に設けられ、半導体基板の上面視で予め定められた配列方向に沿ってトランジスタ部と交互に配列されたダイオード部と、活性領域の上方に設けられ、複数の開口が設けられた保護膜と、を備え、複数の開口のそれぞれにはパッドが配置され、少なくとも一つの開口が、トランジスタ部およびダイオード部の上方に設けられた、半導体装置を提供する。 【選択図】図1d
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
半導体装置においては、逆回復時の発熱を抑制することが好ましい。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の第1の態様においては、半導体基板を備える半導体装置を提供する。半導体装置は、半導体基板の上面に接して設けられたウェル領域を備えてよい。半導体装置は、半導体基板の上面および下面の間で電流が流れる活性領域を備えてよい。半導体装置は、活性領域に設けられたトランジスタ部を備えてよい。半導体装置は、活性領域に設けられ、半導体基板の上面視で予め定められた配列方向に沿ってトランジスタ部に隣接して配・・・ 続きを
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この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1a】 本半導体装置100の上面の一例を示す図である。
【図1b】 ウェル領域11の上方に設けられる構成の一例を示す図である。
【図1c】 分割領域72の配置例を示す図である。
【図1d】 開口部84の配列方向および延伸方向における幅を説明する図である。
【図1e】 それぞれの開口部84を分離する分離領域を説明する図である。
【図2】 半導体装置100の他の例における上面を示す図である。
【図3】 比較例の半導体装置150の上面を示す図である。
【図4】 図1bにおける領域Aの拡大図である。
【図5】 図1bにおける領域Bの拡大図である。
【図6a】 図5におけるa−a'断面の一例を示す図である。
【図6b】 図5におけるb−b'断面の一例を示す図である。
【図7】 本半導体装置100の上面の一例を示す図である。
【図8a】 図6aに示した構造にはんだ部99を加えて示す図である。
【図8b】 図6bに示した構造にはんだ部99を加えて示す図である。
10・・・半導体基板、11・・・ウェル領域、12・・・エミッタ領域、14・・・ベース領域、15・・・コンタクト領域、16・・・蓄積領域、18・・・ドリフト領域、20・・・バッファ領域、21・・・上面、22・・・コレクタ領域、23・・・下面、24・・・コレクタ電極、25・・・接続部、26・・・バリアメタル、28・・・酸化防止膜、29・・・延伸部分、30・・・ダミートレンチ部、31・・・接続部分、32・・・ダミー絶縁膜、34・・・ダミー導電部、36・・・保護膜、38・・・層間絶縁膜、39・・・延伸部分、40・・・ゲートトレンチ部、41・・・接続部分、42・・・ゲート絶縁膜、44・・・ゲート導電部、48・・・ゲートランナー、49・・・コンタクトホール、50・・・ゲート金属層、52・・・エミッタ電極、53・・・ゲートランナー、54・・・コンタクトホール、55・・・ゲートパッド、56・・・コンタクトホール、57・・・ケルビンパッド、58・・・電流センスパッド、59・・・電流センス部、60・・・第1メサ部、62・・・第2メサ部、64・・・第3メサ部、70・・・トランジスタ部、71・・・境界部、72・・・分割領域、78・・・温度センス部、80・・・ダイオード部、82・・・カソード領域、84・・・開口部、86・・・第1分離領域、88・・・第2分離領域、89・・・配線、90・・・外周領域、91・・・配線、92・・・温度センス配線、93・・・ガードリング、93−1・・・ガードリング、93−2・・・ガードリング、93−3・・・ガードリング、94・・・温度測定用パッド、95・・・内端、96・・・検知部、98・・・ボンディングパッド、99・・・はんだ部、100・・・半導体装置、101・・・破線部、102・・・制御電極部、110・・・めっき部、120・・・活性領域、140・・・外周端、150・・・半導体装置、172・・・分割領域、200・・・半導体装置、236・・・保護膜、284・・・開口
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