特開2020-167018IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

阻止電位型エネルギー分析器

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】再現性の高い組み立てが可能な阻止電位型エネルギー分析器を提供する。
【解決手段】阻止電位型エネルギー分析器は、互いに接触するグリッド11及び導電性のリング19を含む複数の電極23と、複数の電極23の後方に設けられるコレクタと、複数の電極23及びコレクタを収容する筐体と、各電極23のリング19に接続する第1電線40とを備え、リング19はその外周面19bまで径方向に延伸する第1凹部26を含み、第1電線40は第1凹部26に接続される。
【選択図】図6

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

プラズマ中のイオンに対するエネルギー分析を行う場合、阻止電位型エネルギー分析器はプラズマの近傍に設置され、大量のプラズマに曝される。従って、分析器内の電極やスペーサ(絶縁物)は、プラズマのイオンによって汚染されやすく、汚染が進むにつれて計測精度や絶縁耐圧が悪化していく。つまり、所望の計測精度や絶縁耐圧を維持するため、定期的な部品交換や洗浄が必要である。一方、阻止電位型エネルギー分析器の計測精度は、当該分析器が発生させる電界の空間的歪みに対して敏感である。 本開示は上述の状況を鑑みて成されたものである。即ち、再現性の高い組み立てが可能な阻止電位型エネルギー分析器の提供を目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の一態様は阻止電位型エネルギー分析器であって、互いに接触するグリッド及び導電性のリングを含む複数の電極と、前記複数の電極の後方に設けられるコレクタと、前記複数の電極及び前記コレクタを収容する筐体と、各前記電極の前記リングに接続する第1電線とを備え、前記リングはその外周面まで径方向に延伸する第1凹部を含み、前記第1電線は前記第1凹部に接続されることを要旨とする。
【発明の効果】
本開示によれば、再現性の高い組み立てが可能な阻止電位型エネルギー分析器を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本開示の阻止電位型エネルギー分析器の概略的な構成と電気系統を示す図である。

【図2】阻止電位型エネルギー分析器の断面図である。

【図3】本開示の筐体の断面図である。

【図4】本開示のグリッドの正面図である。

【図5】本開示のコレクタを説明するための図であり、(a)はコレクタの正面図、(b)は(a)におけVB−VB断面図である。

【図6】本開示のリングを説明するための図であり、(a)はリングの正面図、(b)は(a)におけるVIB−VIB断面図である。

【図7】本開示の外側スペーサの一例を示す図であり、(a)は外側スペーサの正面図、(b)は(a)におけるVIIB−VIIB断面図、(c)は外側スペーサの変形例における(a)のVIIC−VIIC断面図である。

【図8】本開示の内側スペーサの一例を示す図であり、(a)は内側スペーサの正面図、(b)は(a)におけるVIIIB−VIIIB断面図である。

【図9】外側スペーサによるリングの支持を説明するための図であり、(a)はその一例を示す分解断面図、(b)は他の一例を示す分解断面図である。

【図10】筐体に収容されるときの組立体を示す分解斜視図(断面図)である。

【図11】本開示のリングの変形例を示す図であり、(a)は変形例に係るリングの正面図、(b)は(a)におけるXIB−XIB断面図である。

選択図 図6出願人が指定した本件の代表的な図

10…阻止電位型エネルギー分析器(RPA)、11…グリッド、11a…第1グリッド、11b…第2グリッド、11c…第3グリッド、11d…第4グリッド、12…コレクタ、12a…気抜孔、13…筐体、14…筒部、15…蓋部、16…スペーサ、17…内側スペーサ、18…外側スペーサ、19…リング、20…収容空間、22…付勢部材、23…電極、24…大径部、25…小径部、26…第1凹部、26…凹部(第1凹部)、27…切欠、28…組立体(アセンブリ)、29…挿通孔、30…前面、31…後面、32…凹部、33…嵌合孔、34…貫通孔、35…凸部、36…締結部材、37…取付孔、38…凹部(第2凹部)、40…電線(第1電線)、41…電線(第2電線)、CP…荷電粒子、P…プラズマ、PA…微小電流計、VB…バイアス電源、VR…メイン電源、Z…中心軸、

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