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特開 2020-194898出願番号 特願 2019-99900
フィルム加工装置
出願人 積水化学工業株式会社（識別番号 2174）
2026年 特許公開件数ランキング 60位 314件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 57位 308件（※）
公報発行日 2020年12月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-194898 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】フィルムを真空吸着した際に、吸着ステージの変形を抑制し、その結果、フィルムが反ることを抑制したフィルム加工装置を提供する。【解決手段】フィルム加工装置は、天板１１および天板１１と離間して対向する底板１２を有し、天板１１にフィルム１００を真空吸着する吸着ステージ１０を備え、天板１１を厚さ方向に貫通する吸引孔１５を有し、吸着ステージ１０は、天板１１の吸着面１１ａと反対側の面における、吸引孔１５と重ならない領域に補強部材１４を有する。
【選択図】図２
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ステージ上に大面積のフィルムを配置し、フィルムを真空吸着してステージ上に吸着（固定）すると、ステージ内部の隙間が減圧される。そのため、ステージは大気圧による大きな荷重を受ける。すると、その荷重に耐えられずに、ステージの吸着面（ステージにおけるフィルムを吸着する面）が変形し、それに伴って、ステージ上に吸着したフィルムが反ってしまい、フィルムが平坦でなくなるという課題があった。 ステージ上に吸着したフィルムが平坦でなくなると、フィルムの表面に対して、所定の加工や、均一な加工を施すことができなかった。 本発明は、事情に鑑みてなされたものであって、フィルムを真空吸着した際に、吸着ステージの変形を抑制し、その結果、フィルムが反ることを抑制したフィルム加工装置を提供することを目的とする。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置の概略構成を示す斜視図である。
【図2】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置を構成する吸着ステージを示し、図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図3】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置を構成する補強部材を示す斜視図である。
【図4】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置を構成する吸着ステージを示し、図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図5】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置を構成する吸着ステージを示し、図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図6】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置を構成する吸着ステージを示し、図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図7】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置を構成する吸着ステージを示し、図１におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図8】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置を構成する吸着ステージを示す平面図である。
【図9】本発明を適用した一実施形態であるフィルム加工装置を構成する吸着ステージを示し、図８におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図
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