発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところが、特許文献２に開示された検査は上述のような良好な効果を奏するものの、以下の点において、更なる改良が求められていた。 上述したコンデンサなどの電子部品の分野では、その電気的な特性を検査するために、電極部の端面に検査用のプローブを接触させる態様が採られているが、このようなプローブの接触によって、当該電極部の端面にプローブの接触痕が生じる場合がある。この接触痕は、プローブが接触することにより、他の部分よりもむしろ平坦になることによって発現されるもので、これ自体は外観上の不良に属するものではなく、また、品質面からしても、不良に属するものではない。 一方、電極部に形成される傷、欠け及び剥がれについては、外観上の不良と判断され、また、傷については、品質上大きな問題にはならないものの、欠け、剥がれについては、電極部の欠損であるので品質面から不良と判断される。 したがって、当該電子部品に係る外観検査分野では、歩留まりの向上を図る観点から、品質面から問題となる欠けや剥がれについてのみ、これを検出することが可能な検査装置の開発が求められている。 本発明は、以上のような背景の下でなされたものであり、電子部品の電極部に存在する欠けや剥がれについてのみ、これを検出することが可能な検査装置の提供を、その目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

以上詳述したように、本発明に係る検査装置によれば、前記被検査物の外観性状を高精度に検査することができるとともに、品質上の問題にはならない傷や接触痕を検出することなく、品質上問題となる欠け及び剥がれのみを不良として検出することができる。