発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところで、直流プラズマトーチを利用した微粒子発生装置において、プラズマガスとしてアルゴン等の不活性ガスを単体で用いるより、不活性ガスと母材部の気化した成分と反応する反応ガス（Ｈ_２，Ｎ_２、Ｏ_２等の分子ガス）とを混合した混合ガスを用いた方が、下記の理由により良い。つまり、プラズマガスとして混合ガスを用いた場合には、イオン化エネルギーだけでなく、解離エネルギーも母材部の蒸発に寄与できるため、蒸発量を増加させることができる。 しかしながら、プラズマガスとして混合ガスを利用した場合には、プラズマの状態が安定しないこともあることが分かった。 そこで、本発明は、プラズマガスとして混合ガスを用いた場合においても、母材部の高蒸発量を維持しつつ、プラズマの安定を図ることができる微粒子生成装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明に係る微粒子生成装置は、直流プラズマトーチと、前記直流プラズマトーチから離隔して対向して配置され、微粒子生成の原料となり、導電性を有する母材部と、前記直流プラズマトーチと前記母材部との間に、プラズマガスとして、不活性ガスおよび前記母材部の気化した成分と反応する反応ガスの供給が可能な、プラズマガス供給部と、前記直流プラズマトーチと前記母材部との間に発生しているプラズマのプラズマ電圧を検出するプラズマ電圧検出器と、前記プラズマ電圧検出器から送信される検出結果に基づいて、前記プラズマガス供給部を制御し、前記不活性ガスの供給を行いつつ、前記反応ガスの供給を変化させるプラズマガス供給制御部とを、備えており、前記直流プラズマトーチは、リング状の磁石と、円筒形状であり、前記磁石が前記円筒の空洞内部に配置され、前記磁石と所定の距離だけ離隔している移行型プラズマ用電極とを、有しており、前記母材部に負極を印加し、前記移行型プラズマ用電極に正極を印加する直流電源を、さらに備えており、前記移行型プラズマ用電極は、前記母材部との間において、移行型プラズマを発生する電極であり、前記移行型プラズマは、前記移行型プラズマ用電極と前記母材部との間で発生し、前記円筒形状である前記移行型プラズマ用電極の中心軸の周りを回転するプラズマである。

したがって、本発明に係る微粒子生成装置では、プラズマガスとして混合ガスを用いたとしても、プラズマの伸張具合（つまり、プラズマ電圧）に応じて、混合ガスの供給量・供給割合等の調整ができる。よって、当該微粒子生成装置では、母材部の高蒸発量を維持しつつ、プラズマの安定を図ることが可能となる。