特許5999669IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

一般に、微小液体の表面処理装置および表面処理方法の分野

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

このため、上述した技術では、マイクロメートルに準ずる精度で緩衝液内でその場(in-situ)処理することができない。したがって、高い分解能を有し、液体環境下で容易に処理可能な表面処理装置が必要とされている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

第1の態様によれば、本発明は微小液体の表面処理装置として具体化される。微小液体の表面処理装置は、フェース上に少なくとも1の開口を有する微小液体用プローブヘッドであって、当該開口は少なくとも1の流出口を含む、微小液体用プローブヘッドと、前記フェースに対して外側および垂直に延在する表面処理構造とを備え、表面処理構造はさらに、流出口に関連して大きさが決定されて配置され、処理時に流出口を介して供給さ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本微小液体の表面処理装置の簡単に表現する3次元図。

【図2】図1に示す表面処理装置の処理時における別の3次元図。本表面処理装置は、流出口を介して供給され、流入口を介して収集される液体の流路を遮断するプローブチップを備える。

【図3】図1の変更例を示す図。

【図4A】図1の変更例を示す図。

【図4B】図1の変更例を示す図。

【図5】図1に示す表面処理装置の(簡易な表現による)正面図。

【図6】図1に示す表面処理装置の(簡易な表現による)側面図。

【図7】図1および図5の変更例の(簡易な表現による)側面図。本実施形態の表面処理装置では、プローブチップの代わりに円形の表面処理構造が使用される。

【図8】図1に示す表面処理装置の変更例の側面図。表面処理装置は、流出口に押し付け可能な1の自由端部を有するカンチレバーを備える。

【図9】図1に示す表面処理装置の変更例の側面図。表面処理装置は、流出口に押し付け可能な1の自由端部を有するカンチレバーを備える。

【図10】図1に示す表面処理装置の変更例の側面図。表面処理装置は、流出口に押し付け可能な1の自由端部を有するカンチレバーを備える。図10に示す表面処理装置は、本実施形態に示すように、電気的な応答(例えば、流入口のコンジット内の電気伝導性や電気容量、電気化学ポテンシャル等)を測定する電気回路と、フィードバック制御手段とをさらに備える。

【図11】図1に示す表面処理装置の変更例の側面図。表面処理装置は、流出口に押し付け可能な1の自由端部を有するカンチレバーを備える。図11に示す表面処理装置は、実施形態に示すように、電気的な応答(例えば、流入口のコンジット内の電気伝導性や電気容量、電気化学ポテンシャル等)を測定する電気回路と、フィードバック制御手段とをさらに備える。

【図12】図1に示す表面処理装置の変更例の側面図。表面処理装置は、流出口に押し付け可能な1の自由端部を有するカンチレバーを備える。

【図13】図1に示す表面処理装置の変更例の側面図。表面処理装置は、流出口に押し付け可能な1の自由端部を有するカンチレバーを備える。

【図14】本表面処理方法のステップを示す図。この方法では、処理液によって標識されるプローブチップが処理対象の表面に接触する。

【図15】他の同様のステップを示す図。処理液が浸液内に閉じ込められる。処理液の粒子が、プローブチップを介して表面に運ばれる。

【図16】他の同様のステップを示す図。表面処理構造(プローブチップ)の表面に脂質二重層が生成される。

【図17】他の同様のステップを示す図。脂質二重層等を介して分子種が運ばれる。

【図18】他の同様のステップを示す図。プローブチップにエネルギーが供給されて、処理表面で触媒反応や化学反応を行うことができる。

【図19】他の同様のステップを示す図。プローブチップの代わりに、図7に示すような円形の表面処理構造が利用される。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

10a〜10h: 微小液体の表面処理装置   11:流出開口   12:流入開口   15:処理液   151,153,155:処理液15に含まれる粒子   153:分子種   154:脂質二重層   16:微小液体用のブローブヘッド(またはMFPヘッド)   16a:メサ   16b:メサ16aに連続または隣接するMFPの部材/部分   17:微小液体用のプローブヘッドの処理フェース(またはサイド)   20:プローブ   21,21a:表面処理構造   21:プローブチップ   21a:円形の表面処理構造   22:カンチレバー   23,23a:固定部   23,23a:カンチレバーの固定部   24,24a:カンチレバーの自由端部   40:処理対象の表面(基板)   50:浸液   70,70a:電気回路   72,72a:フィードバック制御手段  

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