【図1】第１の静電容量型センサの構成を示す平面図である。

【図2】図１のＡ−Ａ´断面図である。

【図3】静電容量型センサの検出部の回路構成を示す図である。

【図4】静電容量型センサの可動電極に図１，２におけるＸ方向の加速度が加わったときの可動電極の動きを示す図である。

【図5】検出部からの出力と加速度Ｇの関係を示す図である。

【図6】式（６）に示す補正式と、図５に示す出力ΔＣをこの補正式で補正した後の出力（第１の加速度信号）を示す図である。

【図7】静電容量型センサの検出部の回路構成を示す図である。

【図8】静電容量型センサの可動電極に図２におけるＺ方向の加速度が加わったときの可動電極の動きを示す図である。

【図9】検出部からの出力と加速度Ｇの関係を示す図である。

【図10】式（１１）に示す補正式と、図９に示す出力をこの補正式で補正した後の出力（第２の加速度信号）を示す図である。

【図11】第２の静電容量型センサの機能構成を示す図である。

【図12】第２の静電容量型センサの機能構成を示す図である。

【図13】静電容量型センサの図１，２におけるＸ方向について、初期状態における固定電極及び可動電極の位置関係を示す図である。

【図14】静電容量型センサの可動電極に、図１，２におけるＸ方向の加速度が加わったときの可動電極の動きを示す図である。

【図15】第３の実施形態における検出部からの出力と加速度Ｇの関係を示す図である。

【図16】式（１９）に示す補正式と、図１５に示す出力ΔＣをこの補正式で補正した後の出力（第１の加速度信号）を示す図である。

【図17】静電容量型センサの図２におけるＺ方向について、初期状態における可動電極と固定電極との位置関係を示す図である。

【図18】静電容量型センサの可動電極に、図２におけるＺ方向の加速度が加わったときの可動電極の動きを示す図である。

【図19】図１３において初期ズレｄ_ｏｆｓｔ≠０である場合における出力ΔＣと加速度Ｇの関係を示す図である。

【図20】静電容量型センサの筐体に対し、重力加速度を利用して印加できる加速度の範囲を表す図である。