発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着することを防止できるガス循環式のレーザ発振装置が求められている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第１の態様によれば、放電管の端壁の貫通穴を通って光学部品に向かうレーザガスの流れが阻害部材によって阻害されるので、レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着したり光学部品を損傷したりすることを防止できる。従って、第１の態様によれば、光学部品の汚損に伴うレーザ出力の低下を抑制できるので、光学部品の寿命を長期化できるようになる。
さらに、本発明の第１の態様によれば、筒状の阻害部材の内側を通過したレーザガスの一部が、阻害部材の外周面と貫通穴の内周面との間に設けられた空隙に流入しうるので、光学部品に衝突するレーザガスの流量を減少させることができる。従って、第１の態様によれば、レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着する確率を低下させることができる。
さらに、第１の態様によれば、外部から供給されるレーザガスが光学部品に直接的に吹き付けられることはないので、レーザガスの供給配管内に存在しうる汚損物が光学部品に付着することを防止できる。さらに、第４の態様によれば、光学部品がレーザガスの排出に伴う局所的な流れに曝されることはないので、レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着する確率を低下させることができる。
さらに、第１の態様によれば、レーザガスの流れを阻害する阻害部材が放電管の延在方向の両側に設けられるので、レーザガスに混入した塵埃が一対の光学部品の各々に付着したり一対の光学部品の各々を損傷したりすることを防止できる。
本発明の第２の態様によれば、円筒状の阻害部材の内側を通過して光学部品に向かうレーザガスの流量を減少させることができるので、レーザガスに混入した塵埃が光学部品に付着する確率を低下させることができる。
本発明の第３の態様によれば、阻害部材が高い熱伝導性を有するので、放電管内に発生する高エネルギーのレーザ光によって阻害部材が過熱されることを防止できる。