特許6042642IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

メッキ法を用いて作製した光学機能体及びその製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、微細凹凸パタンの凹部内の充填層の剥離がないナノメートルサイズで高アスペクト比の光学機能体、及びこの光学機能体を安価に得ることができる製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の光学機能体は、凹部及び凸部を有する微細凹凸パタンを有する基材と、前記凹部の幅よりも小さい粒径を有する粒子で構成され、前記凹部を充填するようにして無電解メッキ法で形成された充填層と、を具備し、前記微細凹凸パタンのピッチPは、150nm以下であり、前記充填層の幅の平均値は、前記微細凹凸パタンのピッチPの0.01倍から0.4倍であり、前記微細凹凸パタンの凸部の高さH1と、前記微細凹凸パタン・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、凹部及び凸部を有する微細凹凸パタンを有する基材と、前記凹部の幅よりも小さい粒径を有する粒子で構成され、前記凹部を充填するように無電解メッキ法で形成された充填層と、を具備するので、微細凹凸パタンの凹部内の充填層の剥離がないナノメートルサイズで高アスペクト比の光学機能体を得ることができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の実施の形態に係る微細凹凸パタンを説明するための図である。

【図2】本発明の実施の形態に係る光学機能体を示す図である。

【図3】本発明の実施の形態に係る光学機能体の拡大図である。

【図4】本発明の実施の形態に係る光学機能体の微細凹凸パターニング用モールドを示す図である。

【図5】本発明の実施の形態に係るワイヤグリッド偏光板を示す図である。

【図6】比較例における光学機能体を示す図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

101 基材   102 パタン層   102a 微細凹凸パタン   103 金属層   103a,103b 粒子   103c Ni膜   103d 空隙   104 スタンパ金属層   A 凸部   B 凹部

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