発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら特許文献１に記載の方法では、微細パターンの側面（先端部が接触する面）を探針の先端部で押圧するものであるので、微細パターンと基板との界面における密着力を評価することが困難である。
特に、密着力評価としては、上述したような微細パターンだけではなく、微小な固定物、例えば細胞、ナノ粒子や着弾したインク滴等についても、どの程度の密着力で固定（付着、吸着、接着等）されているかを評価したいニーズがある。しかしながら、特許文献１に記載の方法では、界面における密着力を評価することが困難であるので、正確な密着力評価を行うことが難しい。 また、特許文献１に記載の方法では、微細パターンが基板に対して強固に固定されている場合、探針の先端部で微細パターンの側面を単に押圧するだけであるので、微細パターンが剥離しない可能性がある。そのうえ、探針に強い負荷がかかり、その蓄積による疲労により探針の寿命が短くなるおそれがあった。
さらに、探針の先端部で微細パターンの側面を押圧した際、微細パターンにねじれが生じ易いので、この点においても正確な密着力を評価することが難しかった。 本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、基板上に固定された固定物の密着力を安定且つ正確に評価することができると共に、負荷がかかり難く、寿命を延ばし易いプローブ、及び該プローブを具備するプローブ顕微鏡を提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、基板上に固定された固定物の密着力を安定且つ正確に評価することができると共に、負荷がかかり難く、寿命を延ばすことができる。