特許6053216IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

酸化物半導体を用いる半導体装置と、該半導体装置を用いた表示装置及びそれ
らの作製方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様は、酸化物半導体層を用いた薄膜トランジスタにおいて、酸化物半導体層
とソース電極層又はドレイン電極層との間のコンタクト抵抗を低減し、電気特性を安定さ
せた薄膜トランジスタを提供することを課題とする。また、本発明の一態様は、該薄膜ト
ランジスタの作製方法を提供することを課題とする。また、本発明の一態様は、該薄膜ト
ランジスタを有する表示装置を提供することを課題とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一態様は課題を解決するため、酸化物半導体層を用いた薄膜トランジスタに おいて、酸化物半導体層の上に酸化物半導体層より導電率の高いバッファ層を形成し、該 バッファ層の上にソース電極層及びドレイン電極層を形成し、酸化物半導体層とソース電 極層又はドレイン電極層とがバッファ層を介して電気的に接続されるように薄膜トランジ スタを形成する。また、本発明の他の一態様は課題を解決するため、酸化・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明の一態様によれば、酸化物半導体層を用いた薄膜トランジスタにおいて、酸化物半
導体層の上に該酸化物半導体層より導電率の高いバッファ層を形成し、該バッファ層の上
にソース電極層及びドレイン電極層を形成することで、酸化物半導体層とソース電極層又
はドレイン電極層とがバッファ層を介して電気的に接続され、酸化物半導体層とソース電
極層又はドレイン電極層との間のコンタクト抵抗を低減し、電気特性を安定させることが
できる。また、バッファ層に逆スパッタ処理及び窒素雰囲気下での熱処理を行うことによ
り、酸化物半導体層より導電率の高いバッファ層を形成することができる。 該薄膜トランジスタを表示装置の画素部及び駆動回路部に用いることによって、電気特性
が安定した信頼性の高い表示装置を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)

この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図2】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図3】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図4】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図5】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図6】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図7】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図8】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図9】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図10】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を説明する図。

【図11】本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法説明する図。

【図12】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図13】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図14】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図15】半導体装置のブロック図を説明する図。

【図16】信号線駆動回路の構成を説明する図。

【図17】信号線駆動回路の動作を説明するタイミングチャート。

【図18】信号線駆動回路の動作を説明するタイミングチャート。

【図19】シフトレジスタの構成を説明する図。

【図20】図19に示すフリップフロップの接続構成を説明する図。

【図21】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図22】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図23】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図24】本発明の一態様に係る半導体装置の画素等価回路を説明する図。

【図25】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図26】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

【図27】電子ペーパーの使用形態の例を説明する図。

【図28】電子書籍の一例を示す外観図。

【図29】テレビジョン装置およびデジタルフォトフレームの例を示す外観図。

【図30】遊技機の例を示す外観図。

【図31】携帯電話機の一例を示す外観図。

【図32】本発明の一態様に係る半導体装置を説明する図。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

100 基板   101 ゲート電極層   102 ゲート絶縁層   103 酸化物半導体層   105a ソース電極層又はドレイン電極層   105b ソース電極層又はドレイン電極層   106 バッファ層   106a バッファ層   106b バッファ層   107 保護絶縁層   108 容量配線   110 画素電極層   111 第1の酸化物半導体膜   112 導電膜   113 第2の酸化物半導体膜   115 導電層   120 接続電極   121 端子   122 端子   124 端子   125 コンタクトホール   126 コンタクトホール   127 コンタクトホール   128 透明導電膜   129 透明導電膜   131 レジストマスク   132 レジストマスク   150 端子   151 端子   152 ゲート絶縁層   153 接続電極   154 保護絶縁層   155 透明導電膜   156 電極   170 薄膜トランジスタ   201 ゲート電極層   300 高導電性酸化物半導体層   400 基板   401a 第1のゲート電極層   401b 第2のゲート電極層   402 ゲート絶縁層   403a 第1の酸化物半導体層   403b 第2の酸化物半導体層   404a 第1のバッファ層   404b 第1のバッファ層   405a 第1配線   405b 第2配線   405c 第3配線   406a 第2のバッファ層   406b 第2のバッファ層   414コンタクトホール   430a 第1の薄膜トランジスタ   430b 第2の薄膜トランジスタ   580 基板   596 基板   581 薄膜トランジスタ   583 絶縁層   584 絶縁層   585 絶縁層   587 電極層   588 電極層   589 球形粒子   590a 黒色領域   590b 白色領域   594 キャビティ   595 充填材   1000 携帯電話機   1001 筐体   1002 表示部   1003 操作ボタン   1004 外部接続ポート   1005 スピーカ   1006 マイク   2600 TFT基板   2601 対向基板   2602 シール材   2603 画素部   2604 表示素子   2605 着色層   2606 偏光板   2607 偏光板   2608 配線回路部   2609 フレキシブル配線基板   2610 冷陰極管   2611 反射板   2612 回路基板   2613 拡散板   2631 ポスター   2632 車内広告   2700 電子書籍   2701 筐体   2703 筐体   2705 表示部   2707 表示部   2711 軸部   2721 電源   2723 操作キー   2725 スピーカ   4001 基板   4002 画素部   4003 信号線駆動回路   4004 走査線駆動回路   4005 シール材   4006 基板   4008 液晶層   4010 薄膜トランジスタ   4011 薄膜トランジスタ   4013 液晶素子   4015 接続端子電極   4016 端子電極   4018 FPC   4019 異方性導電膜   4020 絶縁層   4021 絶縁層   4030 画素電極層   4031 対向電極層   4032 絶縁層   4501 基板   4502 画素部   4503a 信号線駆動回路   4504a 走査線駆動回路   4505 シール材   4506 基板   4507 充填材   4509 薄膜トランジスタ   4510 薄膜トランジスタ   4511 発光素子   4512 電界発光層   4513 電極層   4515 接続端子電極   4516 端子電極   4517 電極層   4518a FPC   4519 異方性導電膜   4520 隔壁   5300 基板   5301 画素部   5302 走査線駆動回路   5303 信号線駆動回路   5400 基板   5401 画素部   5402 走査線駆動回路   5403 信号線駆動回路   5404 走査線駆動回路   5501 配線   5502 配線   5503 配線   5504 配線   5505 配線   5506 配線   5543 ノード   5544 ノード   5571 薄膜トランジスタ   5572 薄膜トランジスタ   5573 薄膜トランジスタ   5574 薄膜トランジスタ   5575 薄膜トランジスタ   5576 薄膜トランジスタ   5577 薄膜トランジスタ   5578 薄膜トランジスタ   5601 ドライバIC   5602 スイッチ群   5603a 薄膜トランジスタ   5603b 薄膜トランジスタ   5603c 薄膜トランジスタ   5611 配線   5612 配線   5613 配線   5621 配線   5701 フリップフロップ   5703a タイミング   5703b タイミング   5703c タイミング   5711 配線   5712 配線   5713 配線   5714 配線   5715 配線   5716 配線   5717 配線   5721 信号   5803a タイミング   5803b タイミング   5803c タイミング   5821 信号   6400 画素   6401 スイッチング用トランジスタ   6402 駆動用トランジスタ   6403 容量素子   6404 発光素子   6405 信号線   6406 走査線   6407 電源線   6408 共通電極   7001 TFT   7002 発光素子   7003 陰極   7004 発光層   7005 陽極   7011 駆動用TFT   7012 発光素子   7013 陰極   7014 発光層   7015 陽極   7016 遮蔽膜   7017 導電膜   7021 駆動用TFT   7022 発光素子   7023 陰極   7024 発光層   7025 陽極   7027 導電膜   9400 通信装置   9401 筐体   9402 操作ボタン   9403 外部入力端子   9404 マイク   9405 スピーカ   9406 発光部   9410 表示装置   9411 筐体   9412 表示部   9413 操作ボタン   9600 テレビジョン装置   9601 筐体   9603 表示部   9605 スタンド   9607 表示部   9609 操作キー   9610 リモコン操作機   9700 デジタルフォトフレーム   9701 筐体   9703 表示部   9881 筐体   9882 表示部   9883 表示部   9884 スピーカ部   9885 入力手段(操作キー   9886 記録媒体挿入部   9887 接続端子   9888 センサ   9889 マイクロフォン   9890 LEDランプ   9891 筐体   9893 連結部   9900 スロットマシン   9901 筐体   9903 表示部

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

[広告欄]

ログインすれば広告は減ります

ログインすれば広告は減ります