技術分野
温度調整対象物(ワーク)が設置される負荷回路に温度制御された熱媒体を供給することで前記温度調整対象物を所望の温度に制御する温調装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、特許文献1〜3に開示された装置は、いずれも、温度制御に関する精度に改善の余地がある。
本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、温度調整対象物を一層高精度に所望の温度に制御することができる温調装置を提供することである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、冷媒が通流される冷媒通流路と、前記冷媒通流路に設けられ、前記冷媒の通流量を調整する第1流量調整弁と、熱媒体を循環させる第1の熱媒体循環路と、前記冷媒通流路のうちの前記第1流量調整弁の下流側の一部と前記第1の熱媒体循環路の一部との間で前記冷媒によって前記熱媒体の冷却を可能にする熱交換器と、前記熱媒体を循環させる第2の熱媒体循環路と、前記第1の熱媒体循環路のうちの前記一部の下流側の部位・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明によれば、第1流量制御装置が、第1温度センサの検出結果に基づいて第1流量調整弁を制御して、冷媒通流路内の熱交換器側の冷媒の通流量を調整すると共に、第2流量制御装置が、第2温度センサの検出結果に基づいて第2流量調整弁を制御して、第1の熱媒体循環路内から第2の熱媒体循環路内への熱媒体の通流量を調整することにより、高精度に冷却制御された熱媒体を、加熱器に対して、高精度に調整された通流量で供給することができる。これにより、加熱器は、一層高精度に熱媒体を目標温度に制御することができる。その結果、温度調整対象物を一層高精度に所望の温度に制御することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 本発明の一実施の形態の温調装置の系統図である。
【図2】 本発明の一実施の形態の温調装置が温度調整対象物を冷却する際の動作の具体例(実施例1)を説明する表を示した図である。
【図3】 本発明の一実施の形態の温調装置が温度調整対象物を加熱する際の動作の具体例(実施例2)を説明する表を示した図である。
10 冷媒通流路
11 第1流量調整弁
12 冷凍機
20 第1の熱媒体循環路
21 熱交換器
22 タンク
23 ポンプ
24 第1温度センサ
25 リリーフ弁
30 熱交換器
40 第2の熱媒体循環路
41 加熱器
42 負荷回路
44 第2温度センサ
45 第3温度センサ
50 第1接続路
51 第2流量調整弁
60 第2接続路
70 第1流量制御装置
71 第2流量制御装置
72 温度制御装置
100 温調装置
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