発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

従来における基板収納容器は、以上のように容器本体１が開口した状態でパージされる場合に、ＥＦＥＭ６２のファンフィルターユニット６３からクリーンエアがダウンフローされるが、この際、容器本体１の開口した正面２寄りの下方に大量のクリーンエアが流入して不活性ガスと衝突するので、澱み（折り返しの矢印参照）Ｓが生じ、容器本体１内の下部とそれ以外の残部の相対湿度が均一にならず、その結果、容器本体１内の相対湿度を均一に下げることができないという問題がある。 また、蓋体開閉装置６１のパージ装置６０の仕様が予め定められているので、パージ装置６０の仕様に対応する容器本体１の場合には、正面２を開口させてパージすることはできるものの、パージ装置６０の仕様に対応しない容器本体１の場合には、正面２を開口させてパージすることは困難である。 本発明はに鑑みなされたもので、容器本体を開口させた状態でパージする場合に容器本体内の湿度を略均一に下げることのできる基板収納容器を提供することを目的としている。また、パージ装置の仕様に関わらず、容器本体を開口させてパージすることのできる基板収納容器の提供を他の目的としている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、基板収納容器の容器本体を開口させた状態でパージする場合に容器本体内の湿度を略均一に下げることができるという効果がある。また、取付孔から容器本体の後方に向かう直線と吹出しカバーとに０°〜２０°の角度を形成させるので、容器本体の正面が開口した状態のパージ時にパージする気体を容器本体内に適切に供給したり、例えパージ時に清浄な気体等がダウンフローされても、清浄な気体を必要以上に巻き込むことが少なく、効率の良い気体の置換が期待できる。 請求項２記載の発明によれば、給気口から流出したパージ用の気体を上方の傾斜偏向壁に沿って流通させることができるので、清浄な気体の巻き込みを制御しながら、清浄な気体のダウンフローの巻き込みを利用して効率良くパージ用の気体を供給することができる。また、傾斜偏向壁の傾斜角度が１５°以上なので、容器本体の正面が開口した状態のパージ時に容器本体内の下方に気体が澱むのを有効に防止することができる。また、傾斜偏向壁の傾斜角度が５０°以下なので、吹出し開口部を低くすることができ、基板の取り出し時にロボット等と吹出しカバーとが干渉するのを防止することが可能になる。 請求項３記載の発明によれば、給気部材のハウジング上端面の他の部分側に吹出しカバーを設けるのではなく、一部分側に吹出しカバーを設け、この吹出しカバーを容器本体の側壁寄りに位置させて基板から遠ざけるので、容器本体に基板を出し入れする際、吹出しカバーが出し入れの障害になることが少ない。 請求項４記載の発明によれば、パージ装置の仕様に関わらず、基板収納容器の容器本体を開口させてパージすることが可能になる。
請求項５記載の発明によれば、容器本体の底板前部の給気バルブから底板後部の接続用の給気バルブにパージ用の気体が逆流するのを防止することが可能になる。