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公報発行日 2017年10月4
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【図1】外観検査装置の概略を示す図である。
【図2】検査対象物の一例と、2次元プロファイルの一例と、3次元プロファイルの一例を示す図である。
【図3】外観検査装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
【図4】外観検査装置の概略を示す図である。
【図5】外観検査装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
【図6】外観検査処理の基本フローを示すフローチャートである。
【図7】テーブル選択処理の一例を示すフローチャートである。
【図8】テーブル選択処理の一例を示すフローチャートである。
【図9】ヘッドユニットの種別に応じた分解能と測定範囲との一例を示す表である。
【図10】変換テーブルの調整部を備えた外観検査装置のハードウェア構成の一例を示す図である。
【図11】図11(A)はProduct Bについてのデフォルトの変換テーブルを説明するための図である。図11(B)は精度優先用に調整された変換テーブルの一例を示す図である。
【図12】図12(A)、図12(B)は、表示部に表示されるユーザインタフェースの一例を示す図である。
【図13】ユーザが上限値や下限値を設定する際に役立つワークの高さ画像を表示するユーザインタフェースの一例を示す図である。
【図14】ユーザが上限値や下限値を設定する際に役立つワークの高さ画像を表示するユーザインタフェース1211の一例を示す図である。
【図15】ユーザインタフェースの他の例を示す図である。
【図16】ユーザがワークの高さを把握する上で役に立つユーザインタフェースの一例を示す図である。
【図17】変換テーブルの調整処理を示したフローチャートである。
【図18】ユーザがワークの高さを把握する上で役に立つユーザインタフェースの一例を示す図である。
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