特許6216598IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

単位素子対及び薄膜磁気センサに関し、さらに詳しくは、自動車の車軸、ロータリーエンコーダ、産業用歯車等の回転情報の検出、油圧式シリンダ/空気式シリンダのストロークポジション、工作機械のスライド等の位置・速度情報の検出、工業用溶接ロボットのアーク電流等の電流情報の検出、地磁気方位コンパスなどに好適な単位素子対、並びに、これを用いた薄膜磁気センサ

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明が解決しようとする課題は、温度センサや加熱コイルを用いることなく、温度の変動に起因する出力の変化を抑制することが可能な単位素子対、及び、これを用いた薄膜磁気センサを提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決するために本発明に係る単位素子対は、以下の構成を備えていることを要旨とする。 (1)前記単位素子対は、 磁気抵抗変化率MR1(=ΔR1×100/R10)の温度係数α1が正である少なくとも1つの第1単位素子と、 磁気抵抗変化率MR2(=ΔR2×100/R20)の温度係数α2が負である少なくとも1つの第2単位素子とを備え、 前記第1単位素子及び前記第2単位素子は、感磁方・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
単位素子対は、磁気抵抗変化率MR1の温度係数α1が正である少なくとも1つの第1単位素子と、磁気抵抗変化率MR2の温度係数α2が負である少なくとも1つの第2単位素子を直列に接続したものからなる。そのため、単位素子対は、相対的に大きな磁気抵抗変化率MRpを示すが、温度変化に起因する磁気抵抗変化率MRpの変動が小さい。
このような単位素子対と、所定の条件を満たす第2抵抗素子とを用いてブリッジ回路を構成すると、中点電位は、主として外部磁場に依存した値となり、温度による変動が抑制される。しかも、温度による中点電位の変動を抑制するために、温度センサや加熱コイルを必要としない。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の一実施の形態に係る単位素子対の模式図(図1(a))及び回路図(図1(b))である。

【図2】本発明の第1の実施の形態に係る薄膜磁気センサの模式図(図2(a))及び回路図(図2(b))である。

【図3】本発明の第1の実施の形態に係る薄膜磁気センサの斜視図である。

【図4】本発明の第2の実施の形態に係る薄膜磁気センサの模式図(図4(a))及び回路図(図4(b))である。

【図5】(MgF2)x−(FeCo)100-xの電気抵抗率の温度依存性を示す図である。

【図6】(MgF2)x−(FeCo)100-xのMR比の温度依存性を示す図である。

【図7】外部磁場が作用している時の単位素子及び単位素子対の出力電圧の温度依存性を示す図である。

【図8】外部磁場がゼロである時の単位素子対の電気抵抗の温度依存性を示す図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

10 単位素子対(A)   12a 第1単位素子   12b 第2単位素子   14a、14b 薄膜ヨーク   16a、16b GMR膜   20a、20b 薄膜磁気センサ   30a、30b 第2抵抗素子

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