【図1A】本発明によるパターン処理プロセスのプロセスフローである。

【図1B】本発明によるパターン処理プロセスのプロセスフローである。

【図1C】本発明によるパターン処理プロセスのプロセスフローである。

【図1D】本発明によるパターン処理プロセスのプロセスフローである。

【図1E】本発明によるパターン処理プロセスのプロセスフローである。

【図1F】本発明によるパターン処理プロセスのプロセスフローである。

【図2】本発明によるパターン処理組成物での処理前及び処理後のフォトレジストパターンの線量の関数としてのＣＤのプロットである。

【図3】本発明によるパターン処理組成物での処理前及び処理後のフォトレジストパターンの線量の関数としてのＣＤのプロットである。

【図4】本発明によるパターン処理組成物での処理前及び処理後のフォトレジストパターンの線量の関数としてのＣＤのプロットである。

【図5】本発明によるパターン処理組成物での処理前及び処理後のフォトレジストパターンの線量の関数としてのＣＤのプロットである。

【図6】本発明によるパターン処理組成物での処理前及び処理後のフォトレジストパターンの線量の関数としてのＣＤのプロットである。

【図7】本発明によるパターン処理組成物での処理前及び処理後のフォトレジストパターンの線量の関数としてのＣＤのプロットである。

【図8】本発明によるパターン処理組成物での処理前及び処理後のフォトレジストパターンの線量の関数としてのＣＤのプロットである。