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特許 6246602出願番号 特願 2014-5634
基板処理装置
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス（識別番号 207551）
2026年 特許公開件数ランキング 72位 280件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 49位 340件（※）
公報発行日 2017年12月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6246602 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
基板処理装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ところで、基板処理装置では、基板上に供給された薬液を回収して再利用することが行われるが、ノズルからの薬液の吐出後、同じノズルから純水を吐出する場合には、ノズルの内部および供給ラインのノズル近傍に存在する薬液は純水と共に排出されてしまう。純水と混ざった薬液は容易には再利用することができないため、薬液の回収効率が低下する。 本発明は課題に鑑みなされたものであり、薬液を効率よく回収して再利用することを目的としている。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
請求項１に記載の発明は、基板処理装置であって、基板を保持する保持部と、前記基板に向けて処理液を吐出するノズルと、前記ノズルと純水供給部とを接続するとともに、純水用バルブが設けられた供給ラインと、前記供給ラインにおける前記ノズルと前記純水用バルブとの間の薬液導入位置と、薬液供給部とを接続するとともに、薬液用バルブが設けられた薬液導入ラインと、前記供給ラインにおける前記薬液導入位置と前記純水用バ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、薬液を効率よく回収して再利用することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】基板処理装置を示す断面図である。
【図2】気液供給部および気液排出部を示すブロック図である。
【図3】処理液供給ユニットの構成を示す図である。
【図4】基板処理装置における基板の処理の流れを示す図である。
【図5】基板処理装置を示す断面図である。
【図6】処理液供給ユニットを示す図である。
【図7】処理液供給ユニットを示す図である。
【図8】処理液供給ユニットを示す図である。
【図9】基板処理装置を示す断面図である。
【図10】処理液供給ユニットを示す図である。
【図11】処理液供給ユニットを示す図である。
【図12】処理液供給ユニットの他の例を示す図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１ 基板処理装置
９ 基板
１４ 基板保持部
７１ 接続部
７２ 純水導入ライン
７３ 薬液導入ライン
７４ 処理液共通ライン
７５ 薬液回収ライン
７６ 補助回収ライン
７７ 純水排出ライン
８２ 薬液回収部
８３ 純水排出部
９１ 上面
１２３ トッププレート
１８１ 上部ノズル
１８３ 薬液供給部
１８４ 純水供給部
７１１ 接続空間
７１３ 薬液導入位置
７１５ 薬液回収位置
７１６ 補助回収位置
７２２ 純水導入バルブ
７２７ 純水排出位置
７３１ 薬液導入バルブ
７６１ 補助バルブ
８２２，８３２ エジェクタ
１８３１ ヒータ
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