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特許 6258797出願番号 特願 2014-132088
排ガスの燃焼式浄化装置
出願人 日本パイオニクス株式会社（識別番号 229601）
2026年 特許公開件数ランキング 6011位 2件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 22243位 0件（※）
公報発行日 2018年1月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6258797 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
半導体製造工程から排出される排ガスに含まれる有害成分を燃焼させて除去するための燃焼式浄化装置に関する。さらに詳細には、半導体製造工程から排出される有害成分を、火炎及び酸素の存在下、高温で接触させ、燃焼することにより無害な物質あるいは容易に無害化できる物質に変えるための燃焼式浄化装置に関するものである。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】本発明の排ガスの燃焼式浄化装置の一例を示す縦断面の構成図
【図2】図１におけるａ−ａ’断面図
【図3】本発明の排ガスの燃焼式浄化装置の図１以外の一例を示す縦断面の構成図
【図4】図３におけるｂ−ｂ’断面図
【図5】本発明の排ガスの燃焼式浄化装置の側面壁の例を示す部分拡大断面図
【図6】本発明の排ガスの燃焼式浄化装置に水槽及びスクラバーの設備を結合した浄化装置の例を示す縦断面の構成図
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１ 燃焼室
２ 火炎を燃焼室へ導入するノズル
３ 排ガスを燃焼室へ導入するノズル
４ 側面壁
４’通気性のセラミック壁
４”通気性の金属壁
５ 酸素含有ガス流路
６ 酸素含有ガス導入口
７ 排出口
８ スプレーノズル
９ 孔
１０ 線状の間隙
１１ 格子窓状の間隙
１２ 冷却配管
１３ スプレーノズル
１４ フローメーター
１５ ポンプ
１６ 排ガスの燃焼式浄化装置とスクラバー設備間の配管
１７ 水槽
１８ 排水管
１９ 多孔板
２０ 充填材
２１ デミスター
２２ 処理後のガスを外部へ排出する排出口
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