【図1】本発明に従って形成されたＳＯＩ構造の実施形態を断面図で示す。

【図2A】図１の構造で用いられる本体ウエハを形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図2B】図１の構造で用いられる本体ウエハを形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図3A】図１の構造で用いられるハンドルウエハを形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図3B】図１の構造で用いられるハンドルウエハを形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図3C】図１の構造で用いられるハンドルウエハを形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図3D】図１の構造で用いられるハンドルウエハを形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図4A】図１の実施形態を形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図4B】図１の実施形態を形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図4C】図１の実施形態を形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図4D】図１の実施形態を形成するプロセスを連続する断面図で示す。

【図4E】図１の実施形態を形成するプロセスを連続する断面図で示す。