特許 6398371出願番号 特願 2014-132118
駆動装置、工作機械、及び半導体製造装置
出願人 日本精工株式会社（識別番号 4204）
2026年 特許公開件数ランキング 135位 180件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 125位 160件（※）
公報発行日 2018年10月3
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6398371 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
例えば、スライダに不慮の負荷が作用したり、軸受装置の機能が損なわれたりすると、スライダが所期の姿勢で軸受装置に支持されない可能性がある。例えば、スライダが傾斜して差動排気シール装置と接触すると、差動排気シール装置のシール性能が低下する可能性がある。その結果、その駆動装置を備える工作機械及び半導体製造装置の性能が低下する可能性がある。 本発明の態様は、スライダが所期の姿勢で軸受装置に支持されない状態になっても、シール性能の低下が抑制される駆動装置を提供することを目的とする。また、本発明の態様は、性能の低下が抑制される工作機械及び半導体製造装置を提供することを目的とする。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】図１は、第１プロセス室の一例を模式的に示す斜視図である。
【図2】図２は、第１プロセス室の一例を模式的に示す断面図である。
【図3】図３は、第１駆動装置の一例を示す断面図である。
【図4】図４は、第１駆動装置の一例を示す断面図である。
【図5】図５は、第２駆動装置の一例を示す断面図である。
【図6】図６は、第２駆動装置の一例を示す断面図である。
【図7】図７は、第３駆動装置の動作の一例を示す模式図である。
【図8】図８は、第４プロセス室の一例を模式的に示す斜視図である。
【図9】図９は、第４プロセス室の一例を模式的に示す断面図である。
【図10】図１０は、第４駆動装置の一例を示す断面図である。
【図11】図１１は、第５半導体製造装置の一例を示す図である。
【図12】図１２は、第５測定装置の一例を示す図である。
【図13】図１３は、第５工作機械の一例を示す図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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