技術分野
静圧気体軸受回転案内装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
特許文献1の技術では、ラジアル軸受、スラスト軸受および多孔質の円筒パッド等の部材が、回転軸の周方向の全周に設けられている。このため、特許文献1の技術を用いる場合、回転軸の径方向の大きさを大型化すると、ラジアル軸受、スラスト軸受および円筒パッド等の部材が、回転軸の大型化に応じて大きくなる。しかし、部材の加工精度および多孔質材の気孔率の安定性には限界がある。このため、回転軸が大型化する場合、回転軸に作用する圧力が周方向で不均一となり、軸受負荷容量および軸受剛性が低下する可能性がある。
本発明は、に鑑みてなされたものであって、回転部材に作用する圧力が周方向で均一になり、軸受負荷容量および軸受剛性の低下を抑制できる静圧気体軸受回転案内装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
上述した課題を解決し、目的を達成するために、静圧気体軸受回転案内装置は、軸周りに回転する円盤形状の部材であって、前記軸を含む平面で切った断面の前記軸方向の大きさが径方向外側に向かって大きくなっているコニカル部と、前記コニカル部の表面であって前記軸に対して傾斜する第1傾斜面と、前記コニカル部の表面であって前記軸に対して前記第1傾斜面とは異なる方向に傾斜する第2傾斜面と、前記コニカル部の表面であ・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明によれば、回転部材に作用する圧力が周方向で均一になり、軸受負荷容量および軸受剛性の低下を抑制できる静圧気体軸受回転案内装置を提供することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 図1は、本静圧気体軸受回転案内装置を、筐体の上面部を除いて示す平面図である。
【図2】 図2は、図1におけるA−A’断面を示す図である。
【図3】 図3は、回転部材の第1傾斜面側から見た第1ハウジングおよび第1エアパッドを示す図である。
【図4】 図4は、回転部材の側面側から見た第3ハウジングおよび第3エアパッドを示す図である。
【図5】 図5は、図4におけるB−B’断面を示す図である。
【図6】 図6は、変形例に係る静圧気体軸受回転案内装置を、回転部材の軸を含む平面で切った断面を示す図である。
1 静圧気体軸受回転案内装置
10 筐体
101 上面部
102 底面部
103 側面部
2 第3ハウジング
21 内部流路
23 第2凹部
23a 矩形部
23b 十字部
28 ソケット部
29 第1凹部
3 第3エアパッド
31 噴出面
32 裏面
4 第1ハウジング
41 内部流路
43 第2凹部
48 ソケット部
49 第1凹部
5 第1エアパッド
6、6A 回転部材
6c、6cA コニカル部
6h 貫通孔
61、61A 第1傾斜面
61h 取付孔
62、62A 第2傾斜面
63、63A 側面
64 平坦部
65 溝
7 第2ハウジング
78 ソケット部
79 第1凹部
8 第2エアパッド
ab1 第1静圧気体軸受
ab2 第2静圧気体軸受
ab3 第3静圧気体軸受
b ボールスタッド
G 隙間
n 緩み止めナット
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