特許6404723IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

半導体用ウエハを加工処理するときに使用する仮固定用接着剤組成物、この仮固定用接着剤組成物を用いた部材の仮固定方法、並びに部材より硬化体残渣の除去方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は、問題と実状に鑑み、接着性および耐熱性に優れ、近赤外線レーザーを用いることで容易に剥離し、短時間での洗浄によって部材が再利用可能な仮固定用接着剤組成物を提供することを目的とする。さらに、この仮固定用接着剤組成物を用いて接着した接合体、これを用いて接着した部材の仮固定方法及び硬化体残渣の除去方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

すなわち、課題を解決する本発明は、下記より構成される。 (1)(A−1)分子中に(メタ)アクリロイル基を3つ以上含有する多官能(メタ)アクリレートおよび(A−2)脂環式(メタ)アクリレートから選択される1種以上の(メタ)アクリレート100質量部に対し、(B)窒素雰囲気下、25℃から速度10℃/分で昇温したときの質量減少率が10質量%となる温度が250℃以上である光重合開始剤を0.01〜5・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明では、(A−1)分子中に(メタ)アクリロイル基を3つ以上含有する多官能(メタ)アクリレートおよび(A−2)脂環式(メタ)アクリレートから選択される1種以上の(メタ)アクリレート100質量部に対し、(B)窒素雰囲気下、25℃から速度10℃/分で昇温したときの質量減少率が10質量%となる温度が250℃以上である光重合開始剤を0.01〜5質量部、(C)比表面積が30〜100m2/gであるカーボンブラックを0.01〜1質量部、を含有する仮固定用接着剤組成物を用いることにより、部材を仮固定した際に接着性および耐熱性が顕著に改善されることを見出した。また、近赤外線レーザーを照射することで仮固定用接着剤と部材間に歪みを生じさせ、容易な剥離が可能となる。また、本発明の仮固定用接着剤を用いると、短時間の洗浄により硬化体残渣が部材より剥離するため、部材を容易に再利用することが可能である。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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