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公報発行日 2018年12月19
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【図1】本発明の変位測定装置の外観図斜視図である。
【図2】本発明の変位測定装置の要部拡大図である。
【図3】反射器に照射されるレーザー光の位置とスケールに反射されるレーザー光(反射光)の位置との関係を示す図である。
【図4】反射器に照射されるレーザー光の高さと、スケールに映し出される反射光のX座標との関係を示す図である。
【図5】反射器に照射されるレーザー光の高さと、スケールに映し出される反射光のX座標との関係を示す図である。
【図6】反射器に照射されるレーザー光の位置とスケールに反射されるレーザー光(反射光)の位置との関係を示す図である。
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