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公報発行日 2018年12月19
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【図1】本発明のエッチング方法を適用して製造された振動子の構成例を示す平面図である。
【図2】図1中のA−A線断面図である。
【図3】図1に示す振動子の振動素子の断面図(図1中のB−B線断面図)である。
【図4】図1に示す振動子の振動素子の製造方法を説明するための断面図である。
【図5】図1に示す振動子の振動素子の製造方法を説明するための断面図である。
【図6】図1に示す振動子の振動素子の製造方法を説明するための断面図である。
【図7】本発明のエッチング方法を説明するための断面図である。
【図8】本発明のエッチング方法を説明するための断面図である。
【図9】発振器の実施形態を示す断面図である。
【図10】電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図11】電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。
【図12】電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図13】移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
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