特許6439300IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

エッチング方法に関するものである。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の目的は、基材を良好なパターン寸法精度で加工して、優れた寸法精度の被加工物を得ることができるエッチング方法を提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明のエッチング方法を適用して製造された振動子の構成例を示す平面図である。

【図2】図1中のA−A線断面図である。

【図3】図1に示す振動子の振動素子の断面図(図1中のB−B線断面図)である。

【図4】図1に示す振動子の振動素子の製造方法を説明するための断面図である。

【図5】図1に示す振動子の振動素子の製造方法を説明するための断面図である。

【図6】図1に示す振動子の振動素子の製造方法を説明するための断面図である。

【図7】本発明のエッチング方法を説明するための断面図である。

【図8】本発明のエッチング方法を説明するための断面図である。

【図9】発振器の実施形態を示す断面図である。

【図10】電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。

【図11】電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。

【図12】電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。

【図13】移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1……振動子   10……発振器   11、12、13、14……導電性接着剤   2……振動素子   3……振動基板   30……水晶基板   4……基部   5……振動腕   51、52……主面   53、54……側面   55、56……溝   58、68……腕部   59、69……ハンマーヘッド   6……振動腕   61、62……主面   63、64……側面   65、66……溝   7……支持部   71……分岐部   72、73……連結腕   74、75……支持腕   80……ICチップ   84……第1駆動用電極   85……第2駆動用電極   9……パッケージ   91……ベース   15……マスク   16……下地層   17……レジスト層   171……開口部   172……垂直成分   173……R形状成分   100……表示部   911……凹部   92……リッド   951、961……接続端子   952、962…貫通電極   953、963……外部端子   120……内部端子   1100……パーソナルコンピューター   1102……キーボード   1104……本体部   1106……表示ユニット   1200……携帯電話機   1202……操作ボタン   1204……受話口   1206……送話口   1300……ディジタルスチルカメラ   1302……ケース   1304……受光ユニット   1306……シャッターボタン   1308……メモリー   1312……ビデオ信号出力端子   1314……入出力端子   1430……テレビモニター   1440……パーソナルコンピューター   1500……自動車   M1、M2、M3……マスク

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