公報発行日 2018年12月26
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【図1】本発明の実施の形態に係る液滴塗布装置の概略構成図。
【図2】図1の吸気口12及び排気口13を吸排気口16とした構成の一部拡大図。
【図3】図1の液滴塗布装置における吐出時のロッド8の動作説明図。
【図4】図1の液滴塗布装置における、ロッドセットストロークと吐出量との関係を示すグラフ。
【図5】図1の液滴塗布装置においてロッド8が下降し始める直前に、吐出口5から下側に形成されている液溜まりの拡大図。
【図6】供給圧力を一定とし、流量を大又は小とした2通りについて、ピストン7の下側空間の気圧の時間変化を示したグラフ。
【図7】供給圧力を大又は小とした2通りについて、ピストン7の下側空間の気圧の時間変化を示したグラフ。
【図8】図1の液滴塗布装置における吐出量調整(補正)動作のフローチャート。
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