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特許 6444449出願番号 特願 2017-96394
半導体装置及び表示装置
出願人 株式会社半導体エネルギー研究所（識別番号 153878）
2026年 特許公開件数ランキング 10位 962件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 18位 723件（※）
公報発行日 2018年12月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6444449 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
酸化物半導体にチャネル形成領域を設ける薄膜トランジスタは、アモルファスシリコンを用いた薄膜トランジスタよりも高い電界効果移動度が得られている。酸化物半導体膜はス
パッタリング法などによって３００℃以下の温度で膜形成が可能であり、多結晶シリコン
を用いた薄膜トランジスタよりも製造工程が簡単である。 このような酸化物半導体を用いてガラス基板、プラスチック基板等に薄膜トランジスタを
形成し、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネセンスディスプレイ又は電子ペーパ等の表
示装置への応用が期待されている。 また、表示装置の表示領域を大型化すると、画素数が増加し、ゲート線数、及び信号線数
が増加する。加えて、表示装置の高精細化に伴い、画素数が増加し、ゲート線数、及び信
号線数が増加する。ゲート線数、及び信号線数が増加すると、それらを駆動するための駆
動回路を有するＩＣチップをボンディング等により実装することが困難となり、製造コス
トが増大する。 そこで、画素部を駆動する駆動回路の少なくとも一部の回路に酸化物半導体を用いる薄膜
トランジスタを用い、製造コストを低減することを課題の一とする。 画素部を駆動する駆動回路の少なくとも一部の回路に酸化物半導体を用いる薄膜トランジ
スタを用いる場合、その薄膜トランジスタには、高い動特性（オン特性や周波数特性（ｆ
特性と呼ばれる））が要求される。高い動特性（オン特性）を有する薄膜トランジスタを
提供し、高速駆動することができる駆動回路を提供することを課題の一とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
のゲート電極に挟まれた酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタで形成することにより、
製造コストを低減する。 また、の薄膜トランジスタにおいて、ソース電極またはドレイン電極の上下には、ソ
ース領域またはドレイン領域として機能する低抵抗な酸化物半導体層が形成されている。
従って、ソース電極またはドレイン電極の側面と、酸化物半導体層とが接する面積を縮小
することができ、薄膜トランジスタのオン電流を大きくすることが可能となる。また、ソ
ース電極及びドレイン電極とゲート絶縁層の間に、酸化物半導体層よりもキャリア濃度の
高いソース領域及びドレイン領域を意図的に設けることによってオーミック性のコンタク
トを形成することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】（Ａ）実施の形態１の表示装置の一例を示す断面図、（Ｂ）実施の形態１の表示装置の他の一例を示す断面図、（Ｃ）実施の形態１の表示装置の他の一例を示す断面図。
【図2】（Ａ）実施の形態２の半導体装置の断面図、（Ｂ）等価回路図、（Ｃ）上面図。
【図3】実施の形態３の表示装置の全体を説明するブロック図。
【図4】実施の形態３の表示装置における配線、入力端子等の配置を説明する図。
【図5】シフトレジスタ回路の構成を説明するブロック図。
【図6】フリップフロップ回路の一例を示す図。
【図7】フリップフロップ回路のレイアウト図（上面図）を示す図。
【図8】シフトレジスタ回路の動作を説明するためのタイミングチャートを示す図。
【図9】実施の形態４の半導体装置の作製方法を説明する図。
【図10】実施の形態４の半導体装置の作製方法を説明する図。
【図11】実施の形態４の半導体装置の作製方法を説明する図。
【図12】実施の形態４の半導体装置の作製方法を説明する図。
【図13】実施の形態４の半導体装置の作製方法を説明する図。
【図14】実施の形態４の半導体装置を説明する図。
【図15】実施の形態４の半導体装置を説明する図。
【図16】実施の形態４の半導体装置を説明する図。
【図17】実施の形態５の半導体装置を説明する断面図。
【図18】実施の形態６の半導体装置の画素等価回路を説明する図。
【図19】実施の形態６の半導体装置を説明する断面図。
【図20】実施の形態６の半導体装置を説明する上面図及び断面図。
【図21】実施の形態７の半導体装置を説明する上面図及び断面図。
【図22】実施の形態７の半導体装置を説明する断面図。
【図23】電子機器の一例を示す外観図。
【図24】テレビジョン装置およびデジタルフォトフレームの例を示す外観図。
【図25】携帯電話機の一例を示す外観図。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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