発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところで、乾燥工程に搬送される基板には、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、一方の面から他方の面を貫通する孔部１０１が形成された基板１０２、あるいは図７Ａ及び図７Ｂに示すように、複数の基板１０４ａ、１０４ｂの積層による段差１０３が形成された積層基板１０４などもある。このような基板に対して、したエアーナイフによる基板１０２、１０４の乾燥では、基板１０２の孔部１０１の内側、基板１０４の段差１０３の角１０３ａに液滴１０６が残留する場合がある。エアーナイフにより基板上の液滴を効率良く除去するために、エアーナイフを基板の搬送方向上流側に所定の角度に傾斜させ、斜め方向から気体を噴射して液滴を吹き飛ばして除去するが、のような基板１０２、１０４に対しては気体の噴射が及ばない部分が生じ、液滴の残留が生じてしまう場合がある。乾燥が不十分な基板１０２、１０４は品質の低下を招くばかりでなく、後工程での基板処理に支障を及ぼすおそれがあるので、基板上の液滴の残留を極力回避しなければならない。 本発明は、このような事情を鑑みてなされたもので、エアーナイフによる乾燥処理後に基板上に残留する液滴を極力減らすことを可能とする基板乾燥装置の提供を目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、エアーナイフによる基板上への気体噴出による乾燥処理を行った後に当該基板上に残留する液滴を極力減らすことができる。