特許 6610083出願番号 特願 2015-165071
テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械
出願人 日本精工株式会社（識別番号 4204）
2026年 特許公開件数ランキング 147位 191件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 133位 165件（※）
公報発行日 2019年11月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6610083 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
特許文献１に開示されている位置決め装置は、外部荷重を受けた際に、台座にテーブルが当接するように板ばねが配置されている。板ばねでは許容できないテーブルの変形を許容できる技術が要望される。例えば、テーブルが間隙を介してベース部材に支持されている場合において、間隙が大きくても、テーブルを水平方向にガイドする水平ガイド装置に過大な負荷が作用しない構造の案出が要望される。 本発明の態様は、テーブルとベース部材との間隙が大きくても、水平ガイド装置に過大な負荷が作用しないテーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械を提供することを目的とする。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】図１は、第１テーブル装置の一例を示す平面図である。
【図2】図２は、第１テーブル装置の一例を示す側断面図である。
【図3】図３は、第１テーブル装置の一部を拡大した側断面図である。
【図4】図４は、第１鉛直スライド部材及びガイド軸受の近傍を示す拡大図である。
【図5】図５は、第１支持装置の近傍を示す拡大図である。
【図6】図６は、第２テーブル装置の一例を示す側断面図である。
【図7】図７は、第２プレーンガイド装置の水平スライド機構の一例を示す側断面図である。
【図8】図８は、第３テーブル装置の一例を示す側断面図である。
【図9】図９は、第４フラットパネルディスプレイ製造装置の一例を示す図である。
【図10】図１０は、第５精密機械の一例を示す図である。
【図11】図１１は、第６精密機械の一例を示す図である。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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