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公報発行日 2019年12月4
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【図1】図1は、システムインパッケージを製造するための簡略化したスタックの例であり、半導体ダイの配置後及びスタックアップのシンター及びプレス前のスタックが示されている。
【図2】図2は、図1のスタックの例であり、充填材料が後続の基板間に挿入される。
【図3】図3は、図1及び図2から既知のスタックアップを硬化させることにより製造される、簡略化したシステムインパッケージの例である。
【図4】図4は、図3の簡略化したシステムインパッケージの例であり、システムインパッケージの上側、中間、及び下側相互接続表面間の接続を提供するように、ビアが挿入されている。
【図5】図5は、下側基板を有さない、更なる簡略化したシステムインパッケージの例である。
【図6】図6は、上側及び下側表面に近接した基板を有さない、別の簡略化したシステムインパッケージの例である。
【図7】図7は、隣り合って置かれる2つのパワーFETと、これらのFETの頂部上にスタックされるコントローラとを含む、更なる簡略化したシステムインパッケージの例である。
【図8】図8は、隣り合って配置される2つのパワーFETと、上側表面上に置かれる受動構成要素とを含む、別の簡略化したシステムインパッケージの例である。
【図9】図9は、隣り合って配置される2つのパワーFETと、受動構成要素とを含む、簡略化したシステムインパッケージの例であり、ダイオンダイ構成でダイが直接的にスタックされる。
【図10】図10は、半導体ダイと高電流接続を提供する金属ブロックとを含む、更に簡略化したシステムインパッケージの例である。
【図11】図11は、半導体ダイと高電流接続を提供する金属ブロックとを含む、更に簡略化したシステムインパッケージの例である。
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