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公報発行日 2019年12月11
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【図1】本発明の第一実施形態のレーザ測定装置を用いた除振システムを模式的に示す斜視図である。
【図2】本発明の第一実施形態のレーザ測定装置を用いた除振システムを示す概略構成図である。
【図3】本発明の第一実施形態のレーザ測定装置を用いた除振システムを示すブロック図である。
【図4】変位制御機構を示す正面図である。
【図5】制御フローを示すフロー図である。
【図6】A点B点間の鉛直方向の相対変位量のスペクトル振幅値を示すグラフである。
【図7】本発明の第二実施形態のレーザ測定装置を用いた除振システムを示す概略構成図である。
【図8】本発明の第二実施形態のレーザ測定装置を用いた除振システムを示すブロック図である。
【図9】本発明の第三実施形態のレーザ測定装置を用いた除振システムを示す概略構成図である。
【図10】本発明の第三実施形態のレーザ測定装置を用いた除振システムを示すブロック図である。
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