発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献１に記載の熱物性測定装置は、試料の熱伝導率を非破壊にて検査できるが、第１部材と第２部材とを接合した試料の接合状態を求めることはできない。また特許文献２に記載の熱拡散率測定装置は、試料の熱拡散率を非破壊にて検査できるが、第１部材と第２部材とを接合した試料の接合状態を求めることはできない。 本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、接合界面にて互いに接合された第１部材と第２部材において、非破壊にて接合界面の面積を求めることができる、光学非破壊検査装置及び光学非破壊検査方法を提供することを課題とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

第１の発明によれば、正弦波状に変化する加熱用レーザの強度と、正弦波状に変化する赤外線の強度と、の位相差に基づいて接合界面の面積を求める。従って、接合界面にて互いに接合された第１部材と第２部材において、非破壊にて接合界面の面積を求めることができる。 第２の発明によれば、レーザ強度検出手段にて検出する加熱用レーザの強度は、計測点に照射される加熱用レーザである照射光の強度、または、計測点にて反射された加熱用レーザの反射光の強度、である。従って、第１部材の表面状態等に応じて、測定しやすい加熱用レーザを選択することができるので便利である。 第３の発明によれば、位相差と、加熱用レーザの周波数と、第１物理特性と、第２物理特性と、界面物理特性と、計測対象物の見かけ上の熱抵抗と、を用いて、第１部材の熱拡散率、第１部材と第２部材を１つの部材とみなした熱伝導率、接合界面熱抵抗、接合界面面積、を非破壊にて求めることができる。 第４の発明によれば、計測対象物である第１部材と第２部材の材質やサイズが、１通りでなく、種々の組み合わせで複数の計測対象物がある場合であっても、判定装置に、計測対象物に対応する第１物理特性と第２物理特性と界面物理特性と、を容易に記憶させることができるので便利である。 第５の発明によれば、第１物理特性と第２物理特性と界面物理特性における具体的な特性を特定しており、接合界面の面積を適切に求めることができる。 第６の発明によれば、正弦波状に強度が変化する加熱用レーザを比較的容易に得ることができる。 第７の発明によれば、接合界面にて互いに接合された第１部材と第２部材において、非破壊にて接合界面の面積を求めることができる光学非破壊検査方法を適切に実現することができる。 第８の発明によれば、レーザ強度検出手段にて検出する加熱用レーザの強度は、計測点に照射される加熱用レーザである照射光の強度、または、計測点にて反射された加熱用レーザの反射光の強度、である。従って、第１部材の表面状態等に応じて、測定しやすい加熱用レーザを選択することができるので便利である。 第９の発明によれば、位相差と、加熱用レーザの周波数と、第１物理特性と、第２物理特性と、界面物理特性と、計測対象物の見かけ上の熱抵抗と、を用いて、第１部材の熱拡散率、第１部材と第２部材を１つの部材とみなした熱伝導率、接合界面熱抵抗、接合界面面積、を求めることができる光学非破壊検査方法を適切に実現することができる。 第１０の発明によれば、判定装置に、計測対象物に対応する第１物理特性と第２物理特性と界面物理特性と、を容易に記憶させることができるので便利である。 第１１の発明によれば、第１物理特性と第２物理特性と界面物理特性における具体的な特性を特定しており、接合界面の面積を適切に求めることができる。 第１２の発明によれば、正弦波状に強度が変化する加熱用レーザを比較的容易に得ることができる。