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公報発行日 2019年12月25
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【図1】実施形態1に係る微粒子センサの縦断面図である。
【図2】実施形態1に係る微粒子センサの分解斜視図である。
【図3】実施形態1,2に係り、微粒子検知システムのうち、回路部の概略構成を示す説明図である。
【図4】実施形態1に係る第1絶縁スペーサの基端側から見た斜視図である。
【図5】実施形態1に係る第1絶縁スペーサの先端側から見た斜視図である。
【図6】実施形態1,2に係るセラミック素子の斜視図である。
【図7】実施形態1,2に係るセラミック素子の分解斜視図である。
【図8】実施形態1,2に係る微粒子センサにおける微粒子の取り入れ、帯電、排出の様子を模式的に示す説明図である。
【図9】実施形態2に係る微粒子センサの縦断面図である。
【図10】実施形態2に係る微粒子センサの縦断面図であり、図9とは軸線周りに90度回転した側から見た縦断面図である。
【図11】実施形態2に係る微粒子センサの分解斜視図である。
【図12】実施形態2に係る絶縁スペーサの斜視図である。
【図13】実施形態2に係る絶縁スペーサの縦断面図である。
【図14】実施形態2に係り、環状突出部形成前の絶縁スペーサの斜視図である。
【図15】実施形態2に係り、環状突出部形成前の絶縁スペーサの縦断面図である。
【図16】実施形態2に係り、絶縁スペーサのうち層状ヒータ部を展開した分解斜視図である。
【図17】実施形態2に係り、層状ヒータ部のスペーサ用ヒータを展開した状態における平面図である。
【図18】変形形態1に係り、層状ヒータ部のスペーサ用ヒータを展開した状態における平面図である。
【図19】変形形態2に係り、層状ヒータ部のスペーサ用ヒータを展開した状態における平面図である。
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