ホーム > 特許ランキング > 日本特殊陶業株式会社 > 特許6626672
特許 6626672出願番号 特願 2015-178993
セラミック基板の製造方法
出願人 日本特殊陶業株式会社（識別番号 4547）
2026年 特許公開件数ランキング 103位 230件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 141位 148件（※）
公報発行日 2019年12月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6626672 ログイン済みの方はこのURLへ
［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。
※ 共同出願を含む
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。 ログインはこちら ログイン・ユーザー登録
技術分野
セラミック基板の製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
グリーンシート積層体を用いたセラミック基板の製造工程では、熱負荷に対するグリーンシート間の変形量の差に起因するグリーンシート積層体の歪み変形によって、完成品であるセラミック基板に、製造誤差や、変形・劣化などが生じてしまう場合がある。特許文献１の技術では、グリーンシート積層体の歪み変形を抑制するために、各層のグリーンシートを構成するセラミックスラリーの引っ張り伸度や粘度、厚みを調整している。しかしながら、特許文献１の技術では、各セラミックスラリーにおける構成成分の選択の自由度や、各グリーンシートの厚みの設計自由度が制限されてしまう可能性がある。このように、セラミック基板の製造工程において、グリーンシート積層体の歪み変形を抑制する技術については、依然として改良の余地がある。課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明は、少なくとも上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。本発明の一形態は、例えば、セラミック基板の製造方法であって、第１セラミックスラリーをシート状に塗布して、第１グリーンシートを成形するグリーンシート成形工程と、未乾燥の前記第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートを成形し、前記第１グリーンシ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)
この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】セラミック基板の製造工程を示す工程フロー図。
【図2】グリーンシート積層体製造装置の構成例を示す概略図。
【図3】セラミック基板の製造工程の内容を模式的に示す概略図。
【図4】実験例において作製した比較例のサンプルの製造工程を説明するための概略図。
【図5】実験例において測定されたサンプルの変形量を表すパラメーターを説明するための概略図。
【図6】実験例において得られたグラフを示す説明図。
【図7】実験例において得られたグラフを示す説明図。
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
１０…グリーンシート積層体製造装置
２０…搬送部
２２…メインローラー
２３…補助ローラー
２４…搬送ベルト
３０…グリーンシート成形部
３１…第１塗工ヘッド部
３２…第１セラミックスラリー供給部
３５…第２塗工ヘッド部
３６…第２セラミックスラリー供給部
４１…第１加熱部
４２…第１巻取部
４３…第２加熱部
４５…第２巻取部
５１…第１グリーンシート
５２…第２グリーンシート
５３…グリーンシート積層体
５４…未焼成のビア電極
５５…未焼成の配線層
５６…未焼成積層体
６０…セラミック基板
６３…セラミック層
６４…ビア電極
６５…配線層
７０ａ，７０ｂ…支持フィルム
７１，７２…リール
８０…ラミネート装置
８３…搬送ローラー
８４…加熱部
８５…圧着ローラー
８６…リール
全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録
［広告欄］
ログインすれば広告は減ります
ログインすれば広告は減ります