特許6805801IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

圧電素子及び圧電素子応用デバイス

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、KNNは、その結晶構造の状態や結晶中に含まれる添加物の状態により、絶縁性だけでなく、結晶性や結晶配向性が大きく変化し、圧電特性に影響を与えることが知られている。特に、結晶中に含まれる添加物の最適状態は全く不明であった。このような問題は、液体噴射ヘッドに用いられる圧電素子に限られず、他の圧電素子応用デバイスに用いられる圧電素子にも同様に存在する。 本発明は、このような事情に鑑み、Mn含有KNN系圧電材料において、添加物として結晶中に含まれるMnの価数の最適状態を明らかにすると共に、圧電体層の結晶配向性の向上を図り、優れた絶縁性を有する圧電素子及び圧電素子応用デバイスを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決する本発明の態様は、基板上に形成された第1電極と、前記第1電極上に形成され、カリウム(K)、ナトリウム(Na)、ニオブ(Nb)及びマンガン(Mn)を含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなる圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第2電極とを具備する圧電素子であって、前記マンガンは、2価のマンガン(Mn2+)と、3価のマンガン(Mn3+)と、4価のマンガン(Mn4+)とを含み、前・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】インクジェット式記録装置の概略構成を示す図。

【図2】インクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図。

【図3】インクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す平面図。

【図4】インクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す断面図。

【図5】インクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す拡大断面図。

【図6】インクジェット式記録ヘッドの製造例を説明する断面図。

【図7】インクジェット式記録ヘッドの製造例を説明する断面図。

【図8】インクジェット式記録ヘッドの製造例を説明する断面図。

【図9】インクジェット式記録ヘッドの製造例を説明する断面図。

【図10】インクジェット式記録ヘッドの製造例を説明する断面図。

【図11】インクジェット式記録ヘッドの製造例を説明する断面図。

【図12】インクジェット式記録ヘッドの製造例を説明する断面図。

【図13】サンプル1のXRD測定結果を示す図。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

I…記録装置、II…ヘッドユニット、S…記録シート、1…記録ヘッド、2A,2B…カートリッジ、3…キャリッジ、4…装置本体、5…キャリッジ軸、6…駆動モーター、7…タイミングベルト、8…搬送ローラー、10…基板、11…隔壁、12…圧力発生室、13…インク供給路、14…連通路、15…連通部、20…ノズルプレート、21…ノズル開口、30…保護基板、31…圧電素子保持部、32…マニホールド部、33…貫通孔、35…接着剤、40…コンプライアンス基板、41…封止膜、42…固定板、43…開口部、50…振動板、51…弾性膜、52…絶縁体膜、53…マスク膜、56…密着層、60…第1電極、65…シード層、70…圧電体層、74…圧電体膜、80…第2電極、90…リード電極、100…マニホールド、120…駆動回路、121…接続配線、200…プリンターコントローラー、300…圧電素子

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