特許6958827IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

光電陰極及び光電陰極の製造方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】透光性基板と光電変換層との間に光透過性導電層を下地として設けた場合であっても、所望の特性を容易に得ることができる。
【解決手段】光電陰極は、透光性基板と光電変換層との間に設けられる光透過性導電層を備え、光透過性導電層は、炭素を含む構成材料によって形成され、当該構成材料のラマンスペクトルは、D1バンドのピークP1と、GバンドのピークP2と、2D1バンドのピークP3と、(D1+G)バンドのピークP4と、を有している。
【選択図】図4

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

上述のような光電陰極は、光電子増倍管のほか、光電管、イメージ増幅器、ストリーク管など、様々な用途を有している。光電陰極に求められる特性は、適用先の用途に応じて広く異なる。そのため、透光性基板と光電変換層との間に光透過性導電層を下地として設けた場合であっても、所望の特性を有する光電陰極を容易に得ることができる技術が望まれていた。 課題の解決のためになされたものであり、透光性基板と光電変換層との間に光透過性導電層を下地として設けた場合であっても、所望の特性を容易に得ることができる光電陰極を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の一側面に係る光電陰極は、光が入射する一面と、一面側から入射した光を出射する他面とを有する透光性基板と、透光性基板の他面側に設けられ、他面から出射する光を光電子に変換する光電変換層と、透光性基板と光電変換層との間に設けられる光透過性導電層と、を備え、光透過性導電層は、炭素を含む構成材料によって形成され、構成材料のラマンスペクトルは、D1バンドのピークと、Gバンドのピークと、2D1バンド・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本開示によれば、透光性基板と光電変換層との間に光透過性導電層を下地として設けた場合であっても、所望の特性を容易に得ることができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本開示の一光電陰極を用いた光電子増倍管の一例を示す断面図である。

【図2】図1に示した光電子増倍管の要部拡大断面図である。

【図3】(a)は、光透過性導電層の構成材料の一例を示す図であり、(b)は、(a)の要部拡大図である。

【図4】(a)〜(d)は、光透過性導電層を構成するグラッシーカーボンのラマンスペクトルの一例を示す図である。

【図5】(a)及び(b)は、本開示の一光電陰極の製造方法を示す断面図である。

【図6】(a)及び(b)は、図5の後続の工程を示す断面図である。

【図7】光電陰極の分光感度特性に関する評価試験結果を示す図である。

【図8】光電陰極のカソードリニアリティ特性に関する評価試験結果を示す図である。

選択図 図4出願人が指定した本件の代表的な図

1…光電子増倍管、4…光電陰極、21…透光性基板、21a…一面、21b…他面、22…光透過性導電層、24…光電変換層、51…蒸着装置、C…構成材料、L…入射光(光)、P1…D1バンドのピーク、P2…Gバンドのピーク、P3…2D1バンドのピーク、P4…(D1+G)バンドのピーク、R1…最小値、R2…ベース値。

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